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高温対応マスフローメータ SEF-8000シリーズ
概要
高温環境での使用が可能なSEF-8000/2000シリーズは、ウルトラクリーン対応のガス供給系、pptレベルでの超微量ガス分析に用いられる等、半導体・化合物半導体プロセス外の様々なご用途に対応したモデルです。
特長
- ウルトラクリーン対応
- 150℃ベーキング対応
- 幅広いプロセスに対応:高純度ガス供給系、MOCVD用有機金属材料・低蒸気圧材料・腐食性ガスの流量計測に最適
製造会社: HORIBA STEC
高温環境での使用が可能なSEF-8000/2000シリーズは、ウルトラクリーン対応のガス供給系、pptレベルでの超微量ガス分析に用いられる等、半導体・化合物半導体プロセス外の様々なご用途に対応したモデルです。
製造会社: HORIBA STEC