フッ酸濃度モニタ CM-200A/210A

• フッ酸濃度をリアルタイムに表示
  フッ酸濃度を導電率センサで検知、＜導電率＞－＜フッ酸濃度＞の検量線より、自動的にリアルタイムでフッ酸濃度を表示します。
• 半導体製造工程における低濃度域での高い精度を実現
  半導体製造プロセスで使用されるフッ酸溶液のほぼすべてをカバーする0 －1/2/5/10/20/50mass％レンジをラインアップ。特に、0－1mass％の低濃度レンジでも±2％F.S.以内の再現性精度を実現。最近要求の多いメモリ生産ラインでの低濃度域濃度管理に威力を発揮します。
• 安定した測定を保証するセンサ
  センサ接液部はPFA樹脂で完全にモールドされており、フッ酸溶液による金属腐食の恐れがありません。また、サンプル溶液への金属などの不純物の溶出もなく、安定した測定が可能です。
• 警報機能を装備
  より確実なプロセス管理のため濃度出力及び濃度上限・濃度上上限・濃度下限・濃度下下限の各警報出力を装備しています。
• 多用途に使用可能
  コンパクトなDIN96サイズの変換器を採用。小形・軽量でフッ酸の希釈装置、供給装置、ウエハの洗浄装置への組み込みに最適です。また、センサは液に直接浸ける浸漬形（CM－200A）と、プロセス配管中に設置する流通形（CM－210A）をラインアップ。用途に合わせた選択をしていただけます。

測定原理

センサはケースに2対の環状ソレノイド(T₁は交流を通じた励磁変圧器、T₂は検出変圧器)を樹脂でモールドしています。これを溶液中に浸漬することによって、試料溶液が2つの環状ソレノイドに対して、その各々と交わる閉回路を構成します。一方の環状ソレノイドのコイルT₁に一定の交流電流を流すとコアに一定の磁界が発生し、試料溶液には試料水の導電率に応じた電流iが流れるので、他方の環状ソレノイドT₂には電流iに応じた磁界が発生し、またコイルには誘導起電力eが生じます。そして、コイルに生じる起電力は、試料水の導電率に比例したものとなります。このように測定された導電率と、フッ酸濃度は極めて高い相関があり、予め得られた検量線よりフッ酸濃度を求め、表示します。

価格

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
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