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ローコストマスフローコントローラ SEC-400MK3/500MK3
概要
MARK3シリーズは、マスフローコントローラに必要な品質を変えることなくコストダウンの可能性を徹底的に追求した量産モデルです。材質とリーク規格は一般モデルのSEC-400、SEC-500シリーズと変わりありません。主用途にプロセス用のガス流量制御を想定し、再現性に重点を置いた調整とガスの種類・流量を限定して量産することにより、大幅なコストダウンを実現しました。定流量、長時間の安定制御や繰り返し制御用として最適です。また研究室用の簡易流量制御用としても適します。
特長
- サーマルバルブを搭載
- コストメリットを追求し、ローコストを実現
製造会社: HORIBA STEC
仕様
SEC-400MK3
接ガス部材質 | SUS-316、バイトン |
|---|---|
バルブ形式 | 非通電時:開 |
標準流量レンジ | 10/20/50/100/200/500 SCCM |
流量制御範囲 | 5〜100％ F.S.(フルスケール) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(フルスケール) |
校正ガス種 | N2.O2.Air.Ar.H2.He |
SEC-500MK3
接ガス部材質 | SUS-316、バイトン |
|---|---|
バルブ形式 | 非通電時:開 |
標準流量レンジ | 10/20 SLM |
流量制御範囲 | 5〜100％ F.S.(フルスケール) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(フルスケール) |
校正ガス種 | N2.O2.Air.Ar.H2.He |
外形寸法図・他（単位：mm）
