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液体材料気化システム MV Series
概要
純水や液体材料を気化(ガス化)する気化システムです。トルネードフロー方式による高効率気化により、低温度での安定気化を実現。半導体プロセスで使用される"液体材料:High-k材料など"の安定気化システムとして最適なモデルです。キャリアガス制御用マスフローコントローラと液体材料の流量計測用マスフローメータのセットアップで、高効率な気化システムが完成します。
特長
- トルネードフロー方式による安定気化
高効率気化方式により、低温度での安定気化を実現。
熱分解しやすい液体材料においても気化性能が向上。
- トルネードフロー方式による大流量気化
高効率気化方式により、当社従来品と同じ温度条件で大流量気化が可能。
同じフットプリントでの大流量化により、新たなレイアウト変更が不要です。
- コンパクトな気化システムの構築が行え、理想的なレイアウトデザインが可能
- RoHS指令対応
製造会社: HORIBA STEC
仕様
型式 | MV-2000 |
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対応液種 | HCl, HFなどのステンレスを腐蝕する液体を除く |
設定温度 | 気化条件による(Control Valve : MAX.140℃ Vaporizer : MAX.200℃) |
リーク規格 | 1 × 10-8 Pa·m3/s (He) 以下 |
内部リーク規格 | 1 × 10-6 Pa·m3/s (He) 以下 |
接ガス部材質 | SUS316L, PFA |
使用温度センサ | 熱電対 Kタイプ(CA) |
耐圧 | 1MPa (G) |
標準継手 | 液体入口:1/8 VCRタイプMale, キャリアガス入口:1/4 VCRタイプFemale, ガス出口:1/2 VCRタイプMale |
使用可能周囲温度 | 15 ~ 50℃ |
オプション | 空圧弁(内部リーク規格: 1 × 10-9 Pa·m3/s (He) 以下) |
- 発生流量については、ご使用になる“液体材料”“発生量”“発生条件”等により違いが生じます。別途お打合せの上最適なモデルをご提案いたします。
- 本体内部に加温ヒータ、温度センサ、スイッチを搭載しています。仕様については別途ご確認ください。