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ガス制御・分析
各種プロセスのライン圧力制御に最適圧力制御設定信号の入力によりライン圧力の遠隔制御が可能高性能圧力センサとピエゾバルブを内蔵ウルトラクリーン対応のプロセスラインに最適
高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを搭載したデジタルプレッシャレギュレータ。デジタル/アナログ通信モデル、デバイスネット通信モデルをラインナップ。
冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ&メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。
体積管と石鹸膜ディテクタを組み合せ、ワンタッチ操作でガスの流量計測が可能。体積管内を移動する石鹸膜の移動時間を測定、大気圧・気温の値から自動補正し、ガスの流量を算出します。
各種培養プロセスにおける、マスフローコントローラの定期校正に
高精度精密膜流量計は、ガラス体積管に石鹸膜ディテクタ(実用新案登録)を組み合わせ、各種ガスの流量を精密に測定するものです。ガラス体積管内(既知体積)を石鹸膜が移動する時間を測定し、その時の大気圧、気温等の値からガスの流量を算出します。測定するガスの流量により4種類のガラス体積管ユニット(VP-Uシリーズ)を取り揃えています。SF-2Uは本体内部に大気圧センサーを内蔵しているので大気圧の入力が不...