ガス制御・分析

サーマルバルブ搭載、マスフローメータのベーシックモデル

新気化方式のトルネードフロー方式による高効率気化を実現した小型の液体材料気化システムです。低温度での安定気化が可能です。

気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

メタルダイヤフラム、メタルO-リングを内蔵した高速応答ピエゾアクチュエータ―バルブ

微少流量から大流量制御に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローコントローラ

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。