化学・石油製品・塗料

研究開発用途に最適な、高精度・高分解能な大型モノクロメータ

JIS B 7956「大気中の炭化水素自動計測器」に規定された水素炎イオン化検出法（FID）に基づく装置です。VOCの除外装置評価や、触媒実験用低濃度HC測定に活用できます。

原理：

薄膜（膜厚）測定で、より簡単に最大の効果を

新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果をレポート形式にて提供いたします。"Auto...

CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

DynaMyc is the user friendly instrument for investigating dynamic events in microscopic samples, such as energy transfer and molecular binding. HORIBA Scientific, leader in fluorescence spectroscopy, offers an advanced system to apply time resolved fluorescence spectroscopy on the micron-scale.

鉄鋼、新素材、触媒など世界最先端技術の技術開発や品質管理に欠かせない高精度でスピーディな元素分析を実現するツール。ユーザの要望を最大限に反映させた新世代モデル。

煙道排ガス中の最大5成分(NOx/SO₂/CO/CO₂/O₂)を1台で同時測定が可能な装置です。脱硝装置入口の窒素酸化物（NOx）監視や、脱硝装置の出入口の二酸化硫黄（SO₂）, 酸素（O₂）監視など発電所などに導入されている排ガス処理のプロセスコントロール用装置として使用できます。

原理：

実現！　インライン・マルチモニタリング。

マルチバス、ワンバス、枚葉各方式の洗浄装置に対応。

販売終了しました

後継機種は蛍光寿命測定装置 DeltaFlex/DeltaProになります。

TCSPC（時間相関単一光子計数法）蛍光寿命測定装置 FluoroCubeはTAC方式を用いた蛍光寿命測定装置です。

HORIBAの蛍光分光フラッグシップ機Fluorolog-3の後継機種。さらに感度、対応波長範囲などをグレードアップ。蛍光寿命機能など各種アップグレード可能。