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液体デジタルマスフローメータ XF Series

概要

差圧方式の採用により、100msecの高速応答を実現した液体用マスフローメータです。
(ピエゾバルブと組み合わせた場合は0.8秒以内)
センサー部を加温していないため、溶存ガスの再放出（気泡）の影響を受けることなく、正確な流量計測が可能です。熱分解しやすい液体材料に対してもダメージを与えることがありません。
専用の気化器、キャリアガスの流量制御用マスフローコントローラの組合せにより、液体材料の気化（ガス化）システムを構築できます。

特長

圧力センサ方式の採用により、100msecの高速応答を実現。
(ピエゾバルブと組み合わせた場合は0.8秒以内)
高速化により、流量が安定するまでの時間が短縮され、液体材料の使用量の低減に貢献します。
±0.8％F.S.の高精度を実現（当社従来製品比20％向上）
ウルトラクリーン対応
RoHS指令対応

製造会社: HORIBA STEC

仕様

XF Series 仕様一覧

外形寸法図（単位：mm）

XF Series 外形寸法図

測定原理

差圧測定方式

XF Seriesの流量計測（差圧式測定方式）は、フローリストリクタの前後に配置された圧力センサの圧力差を検出し、ハーゲン･ポワズイユの法則を用いて流量に換算しています。
センサ部に熱源がないため、溶存ガスの再放出(気泡)の影響を受けることなく、正確な流量計測が可能であり、熱分解しやすい材料にもダメージを与えることなく流量計測が可能です。また、従来品のLFシリーズを継承したスルーフローデザインにより、気泡が滞留しない構造です。