Industry

高温対応マスフローコントローラ SEC-2000 series

High temperature mass flow controllers / meters

概要

高温環境での使用が可能なSEC-8000/2000シリーズは、ウルトラクリーン対応のガス供給系、pptレベルでの超微量ガス分析に用いられる等、半導体・化合物半導体プロセス外の様々なご用途に対応したモデルです。

特長

  • サーマルバルブ搭載モデル
  • TEOS気化供給システムとして多数の納入実績を誇るLSCシリーズへ標準搭載されているモデル

製造会社: HORIBA STEC

仕様

SEC-2000 series　仕様一覧

外形寸法図・他（単位：mm）

schematics
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