Industry

高温対応マスフローメータ　SEF-8000シリーズ

High temperature mass flow controllers / meters

概要

高温環境での使用が可能なSEF-8000/2000シリーズは、ウルトラクリーン対応のガス供給系、pptレベルでの超微量ガス分析に用いられる等、半導体・化合物半導体プロセス外の様々なご用途に対応したモデルです。

特長

  • ウルトラクリーン対応
  • 150℃ベーキング対応
  • 幅広いプロセスに対応：高純度ガス供給系、MOCVD用有機金属材料・低蒸気圧材料・腐食性ガスの流量計測に最適

製造会社: HORIBA STEC

仕様

SEF-8000 series 仕様一覧

外形寸法図・他（単位：mm）

schematics
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