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自動薄膜計測装置 Auto SE

薄膜(膜厚)測定で、より簡単に最大の効果を

新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果をレポート形式にて提供いたします。"Auto...

分光エリプソメーター UVISEL Plus

 

紫外域~近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター

先端研究の薄膜・表面・界面の特性評価のために、UVISELシリーズは、モジュール式と性能面でベストな組み合わせを提供します。UVISELシリーズは、位相変調技術に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・素晴らしいS/N比で、全波長域に渡って高品質な測定データを採取することができます。

UVISELシリーズは、機...

Mシリーズ/750シリーズ

研究開発用途に最適な、高精度・高分解能な大型モノクロメータ

大気汚染監視用浮遊粒子状物質(SPM)濃度測定装置 APDA-370

JIS B 7954「大気中の浮遊粒子状物質自動計測器」に規定されたβ線吸収方式に基づく装置です。

全炭化水素(THC)濃度測定装置 APHA-370

JIS B 7956「大気中の炭化水素自動計測器」に規定された水素炎イオン化検出法(FID)に基づく装置です。VOCの除外装置評価や、触媒実験用低濃度HC測定に活用できます。

一酸化炭素(CO)濃度測定装置 APMA-370

JIS B 7951「大気中の一酸化炭素自動計測器」に規定された非分散形赤外線吸収方式(NDIR)に基づく測定装置です。ミルクパウダーなどの防塵防爆管理、バルクガス管理や燃焼器具排ガス測定に活用できます。

自動薄膜計測装置 Auto SE

薄膜(膜厚)測定で、より簡単に最大の効果を

新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果をレポート形式にて提供いたします。"Auto...

Automatic COD Monitor CODA-500

最新技術と伝統技術で可能になった、低ランニングで最高性能の自動COD測定装置 CODA-500。

オートプレッシャーレギュレータ UR-7300 series

各種プロセスのライン圧力制御に最適圧力制御設定信号の入力によりライン圧力の遠隔制御が可能高性能圧力センサとピエゾバルブを内蔵ウルトラクリーン対応のプロセスラインに最適

BHF monitor image

CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

製品画像

HE-960R-GCは、ガラスカーボンをセンサに用いた比抵抗計です。

Compact Reticle/Mask Particle Detection System PR-PD3

高い稼働率と長期にわたる安定性で、多くの半導体製造現場から高く評価されているHORIBAの異物検査装置PDシリーズ。そのシンプルで長期安定稼働する搬送系、高スループット、信頼の光学系、さらに誤検出対策機能など高性能の数々を継承し、コンパクトにパッケージングしたのが、レティクル/マスク異物検査装置PR-PD3です。従来機(PR-PD2)と比べて約1/2という小型化を実現するとともに、低ランニングコストを追求。そして0.5μmの検出感度による広い汎用性。レティ...

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