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半導体製造プロセス向超純水管理用

最高感度0.01μg/L(0.01ppb)で、極低濃度のシリカを測りたいという要求に確実にお答えします

iHR320 Imaging Spectrometer

高分解能・高性能な中型モノクロメータで、多くのアプリケーションに適しています。

iHR550 Imaging Spectrometer

ユニークなデザインの、ユニークな分光器です。通常のCzerny-Turnerマウントの分光器のような、核型の分光器と異なるデザインは、きわめて高品位なイメージング性能を得るために、また、高いスループットを得るために採用されました。計算された光学設計により、CCD検出器を使用した場合、イメージングもしくはレゾリューションで最適化できます。数多くのアプリケーションに対応した、使いやすく、信頼性の高い中型分光器です。

工業用pH計 HP-480

使用頻度の高い機能を中心に搭載したスタンダードタイプのpH計です。 工業排水の放流水監視から、各種工業分野における製造工程の監視、品質検査、水産、養殖まで幅広い用途に対応します。

InGaAs Array Detector

液体窒素冷却タイプの低ノイズ検出器で、近赤外領域を、高速・高感度で測定します。

 

製品画像

ウェットプロセスにおける硫酸・過酸化水素中のppmレベルのフッ酸濃度管理を実現

UV計 OPSA-150

工場排水や上水の取水口だけでなく、プロセスライン中の有機物など、幅広い用途に対応する有機汚濁物質監視モニタです。COD値に換算することも可能です。

シリコン中不純物定量分析用フォトルミネッセンス測定装置 Photoluminor-D

フォトルミナーDはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。

PHOTOLUMINOR-S

フォトルミナーSは高感度な分光分析用PLシステムです。高感度測定はPL装置では重要です。第一に微弱なPL光を検出するためです。その他、励起光密度の増大によりPLスペクトルの形状が変化したり、励起光密度の変化によりPLスペクトルのピーク波長が変化するケースがあり、高感度測定装置であれぱ励起光密度の変化に対応しやすいと考えるからです。フォトルミナーSは高品質の集光レンズを採用しています。そしてソフトウェアにより測定波長と同期してレンズが移動し色収差の影響を無く...

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