太陽光発電装置

CS-153は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。酸化膜とともに金属不純物を除去するために使われるFPM溶液(HF/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりFPM溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

低迷光アプリケーションおよび単色光源に最適なダブルモノクロメータ

CS-153Nは、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。シリコン酸化膜のエッチングのために使われるHNO3/HF溶液(HNO3/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりHNO3/HF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

体積管と石鹸膜ディテクタを組み合せ、ワンタッチ操作でガスの流量計測が可能。体積管内を移動する石鹸膜の移動時間を測定、大気圧・気温の値から自動補正し、ガスの流量を算出します。

各種培養プロセスにおける、マスフローコントローラの定期校正に

高精度精密膜流量計は、ガラス体積管に石鹸膜ディテクタ(実用新案登録)を組み合わせ、各種ガスの流量を精密に測定するものです。ガラス体積管内(既知体積)を石鹸膜が移動する時間を測定し、その時の大気圧、気温等の値からガスの流量を算出します。測定するガスの流量により4種類のガラス体積管ユニット(VP-Uシリーズ)を取り揃えています。SF-2Uは本体内部に大気圧センサーを内蔵しているので大気圧の入力が不...

15℃から120℃までの高温環境対応のデジタルマスフローコントローラ

高温環境対応、サーマルバルブ搭載のマスフローコントローラ

高温環境対応のマスフローメータ

半導体特製造プロセスの厳しいニーズに対応するために開発された高精度なフッ酸濃度モニタです。電磁誘導方式導電率計の採用により、フッ酸濃度を測定し、リアルタイムに表示します。しかも、低濃度域においても高い再現性精度を実現。エッチングを含むウエハの洗浄工程におけるフッ酸濃度の管理をはじめ、フッ酸が利用されている様々な産業分野に幅広く対応します。

高分解能・高性能な中型モノクロメータで、多くのアプリケーションに適しています。