太陽光発電装置

ユニークなデザインの、ユニークな分光器です。通常のCzerny-Turnerマウントの分光器のような、核型の分光器と異なるデザインは、きわめて高品位なイメージング性能を得るために、また、高いスループットを得るために採用されました。計算された光学設計により、CCD検出器を使用した場合、イメージングもしくはレゾリューションで最適化できます。数多くのアプリケーションに対応した、使いやすく、信頼性の高い中型分光器です。

液体窒素冷却タイプの低ノイズ検出器で、近赤外領域を、高速・高感度で測定します。

液体材料を｢安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できるオートレフィルシステム

サーマルバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。

レティクル反転機構0.5ー50μm選択可能検査系1系統装置内蔵／組合せ型

マスフローコントローラの動作確認を行う簡易チェッカです。

メタルO-リング対応の大流量モデル

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。

サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ