SEF-E series mass flow controllers

微少流量から大流量計測に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローメータ

SEF-400

サーマルバルブ搭載、マスフローメータのベーシックモデル

液体材料気化システム MV-2000 Series

新気化方式のトルネードフロー方式による高効率気化を実現した小型の液体材料気化システムです。低温度での安定気化が可能です。

液体材料気化システム MI-1000/MV-1000 series

気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。

カソードルミネッセンス 高機能 MP-32S/M

カソードルミネッセンスMP-32S/Mは、サーマルタイプのフィールドエミッションSEMを使用し、今まで不可能だった微少領域における高空間分解能での評価を実現、サブミクロンの壁を突破しました。

カソードルミネッセンス スペクトル測定システム MP-VSシリーズ

SEMに取付るだけカソードルミネッセンススペクトルを簡単測定。

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

シリコン中不純物定量分析用フォトルミネッセンス測定装置 Photoluminor-D

フォトルミナーDはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。

PHOTOLUMINOR-S

The PHOTOLUMINOR-S has been designed for R&D in many applications and provides high performance and easy operation.   High-sensitivity measurement is important for detecting weak photoluminescence...

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