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CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。
高い稼働率と長期にわたる安定性で、多くの半導体製造現場から高く評価されているHORIBAの異物検査装置PDシリーズ。そのシンプルで長期安定稼働する搬送系、高スループット、信頼の光学系、さらに誤検出対策機能など高性能の数々を継承し、コンパクトにパッケージングしたのが、レティクル/マスク異物検査装置PR-PD3です。従来機(PR-PD2)と比べて約1/2という小型化を実現するとともに、低ランニングコストを追求。そして0.5μmの検出感度による広い汎用性。レティ...
HORIBAのpHメータD-50シリーズは、本体、電極ともに画期的な防水構造を採用したpHメータです。 本体+電極+アクセサリの豊富なバリエーションで、測定用途に最適な組合せが選べます。
Automated UV-VIS Spectroscopic Reflectometer - Spectroscopic Reflectometer platform - Spectral Range 400 - 800 nm
DynaMyc is the user friendly instrument for investigating dynamic events in microscopic samples, such as energy transfer and molecular binding. HORIBA Scientific, leader in fluorescence spectroscopy, offers an advanced system to apply time resolved fluorescence spectroscopy on the micron-scale.
鉄鋼、新素材、触媒など世界最先端技術の技術開発や品質管理に欠かせない高精度でスピーディな元素分析を実現するツール。ユーザの要望を最大限に反映させた新世代モデル。
煙道排ガス中の最大5成分(NOx/SO2/CO/CO2/O2)を1台で同時測定が可能な装置です。脱硝装置入口の窒素酸化物(NOx)監視や、脱硝装置の出入口の二酸化硫黄(SO2), 酸素(O2)監視など発電所などに導入されている排ガス処理のプロセスコントロール用装置として使用できます。
原理:
5.7インチのワイド画面に、pHメータとしては世界で初めてカラー画面を採用し、より見やすく、より使いやすくを実現。また、ガラス電極をチューブ構造とした「ToupH」の強度を大幅にアップし、「割れにくく、メンテナンスしやすい電極がほしい」という声に応えました。
販売終了しました
後継機種は蛍光寿命測定装置 DeltaFlex/DeltaProになります。
TCSPC(時間相関単一光子計数法)蛍光寿命測定装置 FluoroCubeはTAC方式を用いた蛍光寿命測定装置です。