FPM Monitor / CS-153

CS-153は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。酸化膜とともに金属不純物を除去するために使われるFPM溶液(HF/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりFPM溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

Gemini 180 Monochromator

低迷光アプリケーションおよび単色光源に最適なダブルモノクロメータ

HEラマンプロセスシステム

HE(High Efficiency)ラマンプロセスシステムはプロセスコントロールのためにハイスループットで安定したシステムとして開発されました。内部の光学部品が全て固定されており外観も頑丈でコンパクトに設計され、極力メンテナンスを少なくし操作も簡単にすることでプロセス現場からの要望に完全に応えています。

CS-153N HF/HNO3 Monitor

CS-153Nは、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。シリコン酸化膜のエッチングのために使われるHNO3/HF溶液(HNO3/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりHNO3/HF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

Hydrofluoric Acid Monitor CM-200A/210A

半導体特製造プロセスの厳しいニーズに対応するために開発された高精度なフッ酸濃度モニタです。電磁誘導方式導電率計の採用により、フッ酸濃度を測定し、リアルタイムに表示します。しかも、低濃度域においても高い再現性精度を実現。エッチングを含むウエハの洗浄工程におけるフッ酸濃度の管理をはじめ、フッ酸が利用されている様々な産業分野に幅広く対応します。

IG-331 Gloss Checkers

簡単操作で、幅広い分野での品質管理や空間の美化維持に真価を発揮します。人間の目の識別力はあいまいです。とくに光沢については、識別はもちろん記憶や伝達表現もほとんど無力に等しく、あいまいな認識を生むとともに、商品の生産や販売の場でトラブルの原因につながってしまいかねません。HORIBAのグロスチェッカIGシリーズは、光沢を測定し数値化。光沢に対するあいまいな認識を解消し、客観的なデータを基にした評価を可能にします。しかもハンディタイプでウォーミングアップ不要...

高光沢グロスチェッカ IG-410

光源には近赤外線を採用し、光沢度1000(鏡面反射率100%)を測定します。現場作業を容易にする、表示部と分離した測定部を被検体にあてるだけで計測ができるハンディタイプです。ウォーミングアップは不要です。自動車のヘッドライトなどの照明用反射板やコピー機の反射板、シリコンウエハなど、高いレベルの表面光沢度が要求される製品の品質管理に最適です。

iHR320 Imaging Spectrometer

高分解能・高性能な中型モノクロメータで、多くのアプリケーションに適しています。

iHR550 Imaging Spectrometer

ユニークなデザインの、ユニークな分光器です。通常のCzerny-Turnerマウントの分光器のような、核型の分光器と異なるデザインは、きわめて高品位なイメージング性能を得るために、また、高いスループットを得るために採用されました。計算された光学設計により、CCD検出器を使用した場合、イメージングもしくはレゾリューションで最適化できます。数多くのアプリケーションに対応した、使いやすく、信頼性の高い中型分光器です。

工業用pH計 HP-480

使用頻度の高い機能を中心に搭載したスタンダードタイプのpH計です。 工業排水の放流水監視から、各種工業分野における製造工程の監視、品質検査、水産、養殖まで幅広い用途に対応します。

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