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HORIBAの蛍光分光フラッグシップ機Fluorolog-3の後継機種。さらに感度、対応波長範囲などをグレードアップ。蛍光寿命機能など各種アップグレード可能。
モジュール型蛍光分光光度計 Fluorolog-3は、これまでになかったコンポーネント組み合わせタイプの蛍光分光測定装置です。
FluoroMax-4は、従来にない高感度と高速スキャンを両立した、実用性の高い蛍光分光光度計。世界のジョバンイボンの分光技術と、フォトンカウティング法により、検出器のノイズも除去。世界最高レベルのS/N比、3000:1を達成しています。高い感度を実現しているからこそ、数値も正確。分析環境のトータルな作業効率を高めます。また、3D表示と、扱いやすい操作体系のソフトウェア「FluorEssence」と、拡張性の高い充実のオプション群で、さまざまな測定に的確に...
CS-153は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。酸化膜とともに金属不純物を除去するために使われるFPM溶液(HF/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりFPM溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。
HE（High Efficiency）ラマンプロセスシステムはプロセスコントロールのためにハイスループットで安定したシステムとして開発されました。内部の光学部品が全て固定されており外観も頑丈でコンパクトに設計され、極力メンテナンスを少なくし操作も簡単にすることでプロセス現場からの要望に完全に応えています。
CS-153Nは、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。シリコン酸化膜のエッチングのために使われるHNO3/HF溶液(HNO3/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりHNO3/HF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。
半導体特製造プロセスの厳しいニーズに対応するために開発された高精度なフッ酸濃度モニタです。電磁誘導方式導電率計の採用により、フッ酸濃度を測定し、リアルタイムに表示します。しかも、低濃度域においても高い再現性精度を実現。エッチングを含むウエハの洗浄工程におけるフッ酸濃度の管理をはじめ、フッ酸が利用されている様々な産業分野に幅広く対応します。
簡単操作で光沢を測定し数値化し、幅広い分野での品質管理や空間の美化維持に活用できる光沢計です。
