レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置 LA-300

粒子径分布測定装置ラインナップ

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当製品は販売を終了し、...

InGaAs Array Detector

液体窒素冷却タイプの低ノイズ検出器で、近赤外領域を、高速・高感度で測定します。

 

カソードルミネッセンス 高機能 MP-32S/M

カソードルミネッセンスMP-32S/Mは、サーマルタイプのフィールドエミッションSEMを使用し、今まで不可能だった微少領域における高空間分解能での評価を実現、サブミクロンの壁を突破しました。

モジュール型近赤外高速蛍光分光光度計 NanoLog

分光器iHRシリーズ+NanoLog InGaAsアレイ検出器(液体窒素冷却)により、高速マトリックス測定を実現しました。カーボンナノチューブの近赤外発光測定に最適です。

ジルコニア酸素計(酸素濃度計) NZ-3000

ジルコニア酸素計NZ-3000は、電力用ボイラをはじめ、パッケージボイラ、工業炉および各種燃焼装置の煙道内にプローブを挿入し、酸素濃度を測定します。...

HORIBA's PR-PD2 Particle Detection System

高スループットで効率的な異物検査・測定を実現。高い稼働率と長期にわたる安定性など、数々の高性能・高機能で多くの半導体製造現場で高く評価されているHORIBAのレティクル/マスク異物検査装置PDシリーズ。長期安定稼動する搬送系、高スループットなどの高性能機能を継承し、さらに独自に開発した信号処理方式により、シリーズ最高感度、最小0.35μmの微細異物検出を可能にしたのが、このレティクル/マスク異物検査装置PR-PD2です。各種のステッパーケースに対応する最大...

Standard Clean 1 (SC-1) chemical concentration monitor image

CS-131は、半導体製造における洗浄工程のSC-1溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。パーティクルや有機物の除去に使われるSC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)の各成分濃度を常時モニタします。モニタ出力を用いたフィードバック制御を行うことにより、SC-1溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な薬液交換をなくすことができます。また冷却器一体型もラインアップし、広範囲なサンプル温度範囲に対応しました。

Appearance of CS-152, SC-2 monitor

CS-152は、半導体製造における洗浄工程のSC-2溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。金属イオン除去に使われるSC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで自動補給するタイミングを知らせます。短い測定周期の実現により濃度変化に対しても忠実に追従し、またコンパクト設計により容易に洗浄装置へ組込むことができます。

SPM Monitor image

CS-150は、半導体製造における洗浄工程のSPM溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。レジスト剥離や有機物の除去に使われるSPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで自動補給するタイミングを知らせます。高速応答、短い測定周期の実現により濃度変化に対しても忠実に追従し、またコンパクト設計により容易に洗浄装置へ組込むことができます。

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