大気汚染監視用浮遊粒子状物質(SPM)濃度測定装置 APDA-370

大気汚染監視用浮遊粒子状物質濃度測定装置APDA-370は、JIS B 7954「大気中の浮遊粒子状物質自動計測器」に規定されたβ線吸収方式に基づく装置です。長期安定性を確保する自己診断機能のほか、捕集効率の高いふっ素樹脂テープろ紙の対応も可能です。

全炭化水素(THC)濃度測定装置 APHA-370

全炭化水素(THC)濃度測定装置APHA-370は、JIS B...

一酸化炭素(CO)濃度測定装置 APMA-370

CO濃度測定装置APMA-370は、JIS B...

BHF monitor image

CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

光ファイバ式薬液濃度モニタ CS-100F1シリーズ

実現! インライン・マルチモニタリング。

マルチバス、ワンバス、枚葉各方式の洗浄装置に対応。

FPM Monitor / CS-153

CS-153は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。酸化膜とともに金属不純物を除去するために使われるFPM溶液(HF/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりFPM溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

HEラマンプロセスシステム

HE(High Efficiency)ラマンプロセスシステムはプロセスコントロールのためにハイスループットで安定したシステムとして開発されました。内部の光学部品が全て固定されており外観も頑丈でコンパクトに設計され、極力メンテナンスを少なくし操作も簡単にすることでプロセス現場からの要望に完全に応えています。

CS-153N HF/HNO3 Monitor

CS-153Nは、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。シリコン酸化膜のエッチングのために使われるHNO3/HF溶液(HNO3/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりHNO3/HF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

Hydrofluoric Acid Monitor CM-200A/210A

半導体特製造プロセスの厳しいニーズに対応するために開発された高精度なフッ酸濃度モニタです。電磁誘導方式導電率計の採用により、フッ酸濃度を測定し、リアルタイムに表示します。しかも、低濃度域においても高い再現性精度を実現。エッチングを含むウエハの洗浄工程におけるフッ酸濃度の管理をはじめ、フッ酸が利用されている様々な産業分野に幅広く対応します。

IG-331 Gloss Checkers

簡単操作で、幅広い分野での品質管理や空間の美化維持に真価を発揮します。人間の目の識別力はあいまいです。とくに光沢については、識別はもちろん記憶や伝達表現もほとんど無力に等しく、あいまいな認識を生むとともに、商品の生産や販売の場でトラブルの原因につながってしまいかねません。HORIBAのグロスチェッカIGシリーズは、光沢を測定し数値化。光沢に対するあいまいな認識を解消し、客観的なデータを基にした評価を可能にします。しかもハンディタイプでウォーミングアップ不要...

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。

カスタマーサポートセンターでは、お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

HORIBA
カスタマーサポートセンター

フリーダイヤル 0120-37-6045
受付時間:
9:00~12:00/13:00~17:00
月曜日~金曜日(祝日をのぞく)