Mシリーズ/750シリーズ

研究開発用途に最適な、高精度・高分解能な大型モノクロメータ

大気汚染監視用浮遊粒子状物質(SPM)濃度測定装置 APDA-370

大気汚染監視用浮遊粒子状物質濃度測定装置APDA-370は、JIS B 7954「大気中の浮遊粒子状物質自動計測器」に規定されたβ線吸収方式に基づく装置です。長期安定性を確保する自己診断機能のほか、捕集効率の高いふっ素樹脂テープろ紙の対応も可能です。

一酸化炭素(CO)濃度測定装置 APMA-370

CO濃度測定装置APMA-370は、JIS B...

窒素酸化物(NOx)濃度測定装置 APNA-370

NOx濃度測定装置APNA-370は、JIS B 7953「大気中の窒素酸化物自動計測器」に規定された化学発光方式(CLD)に基づく測定装置です。流路変調(クロスモデュレーション)方式の採用により長期安定性を実現、同一の測定セルと検出器で計測するため、信頼性のある測定値を得ることが可能です。

用途

大気汚染監視光触媒のガス濃度管理脱硝触媒の性能評価実験クリーンルームの雰囲気監視文化財の保存環境 

オゾン(O3)濃度測定装置 APOA-370

O3濃度測定装置APOA-370は、JIS B...

自動薄膜計測装置 Auto SE

薄膜(膜厚)測定で、より簡単に最大の効果を

新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果をレポート形式にて提供いたします。"Auto...

BHF monitor image

CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

Compact Reticle/Mask Particle Detection System PR-PD3

高い稼働率と長期にわたる安定性で、多くの半導体製造現場から高く評価されているHORIBAの異物検査装置PDシリーズ。そのシンプルで長期安定稼働する搬送系、高スループット、信頼の光学系、さらに誤検出対策機能など高性能の数々を継承し、コンパクトにパッケージングしたのが、レティクル/マスク異物検査装置PR-PD3です。従来機(PR-PD2)と比べて約1/2という小型化を実現するとともに、低ランニングコストを追求。そして0.5μmの検出感度による広い汎用性。レティ...

DIGISCREEN

Automated UV-VIS Spectroscopic Reflectometer - Spectroscopic Reflectometer platform - Spectral Range 400 - 800 nm

DynaMyc - Lifetime Microscope System

DynaMyc is the user friendly instrument for investigating dynamic events in microscopic samples, such as energy transfer and molecular binding. HORIBA Scientific, leader in fluorescence spectroscopy, offers an advanced system to apply time resolved fluorescence spectroscopy on the micron-scale.

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