ドライプロセス

高温環境対応のマスフローメータ

高温環境対応、サーマルバルブ搭載のマスフローコントローラ

各種培養プロセスにおける、マスフローコントローラの定期校正に

高精度精密膜流量計は、ガラス体積管に石鹸膜ディテクタ(実用新案登録)を組み合わせ、各種ガスの流量を精密に測定するものです。ガラス体積管内(既知体積)を石鹸膜が移動する時間を測定し、その時の大気圧、気温等の値からガスの流量を算出します。測定するガスの流量により4種類のガラス体積管ユニット(VP-Uシリーズ)を取り揃えています。SF-2Uは本体内部に大気圧センサーを内蔵しているので大気圧の入力が不...

微少流量から大流量制御に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローコントローラ

半導体特製造プロセスの厳しいニーズに対応するために開発された高精度なフッ酸濃度モニタです。電磁誘導方式導電率計の採用により、フッ酸濃度を測定し、リアルタイムに表示します。しかも、低濃度域においても高い再現性精度を実現。エッチングを含むウエハの洗浄工程におけるフッ酸濃度の管理をはじめ、フッ酸が利用されている様々な産業分野に幅広く対応します。

ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

メタルO-リング対応の大流量モデル