Industry
大流量・エコノミーマスフローコントローラ SEC-E Series
概要
信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したオールマイティモデルの高精度アナログマスフローコントローラです。10 SCCMから200SLMまでのワイドな流量制御範囲く幅広い産業でお使いいただけます。
特長
- 広範囲な流量制御:0.2SCCM~200SLM (N2)
- 幅広い用途に対応
一般産業市場において多数の納入実績を誇っています。 - ローコストモデルもラインナップ(SEC-E40MK3/E50MK3)
- バルブフルクローズ・オートゼロ調整機能搭載
(SEC-E40/E40MK3/E50/E50MK3)
製造会社: HORIBA STEC
アプリケーション
幅広い産業でご使用いただいています
- 各種生産装置への搭載:液晶、太陽電池、パワー半導体、コーティング
- 一般産業:バーナーガス制御、雰囲気ガス制御、混合ガス発生、通気量計測
- 研究・開発:各種ガスセンサー性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器
- ラボ:各種実験用ガス流量制御機器、サンプリングガス流量制御機器 など