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CDやDVDにはもちろん、光ファイバ通信に必要な「半導体レー ザ」や「受光素子」、そして衛星通信や携帯電話などワイヤレス通信に不可欠な「マイクロ波半導体」や「高速デジタルIC」なども、この「化合物半導体」によって実現されています。
これは、有機金属化合物と水素化物等を原料として、熱分解反応により半導体薄膜を堆積する方法です。
原料である有機金属化合物や水素化物は、ガス化されて製造工程へ供給されるのですが、ここでガスの流量を精密に制御することで、 半導体薄膜の成長速度や組成をコントロールします。
原料である有機金属化合物や水素化物は、ガス化されて製造工程へ供給されるのですが、ここでガスの流量を精密に制御することで、 半導体薄膜の成長速度や組成をコントロールします。
ガスが特定の波長域の赤外線を吸収し、濃度に対応した吸収量を示すという原理を利用した計測装置で、原料ガスの供給ラインに直接つなぐことでリアルタイムで正確な原料コントロールに役立っています。