装置搭載型 非接触放射温度計 IT-470F-H
概要
自社開発の高感度サーモパイルセンサを搭載し、長年の放射温度計開発のノウハウを結集して実現した、業界最高水準の高精度な装置搭載型放射温度計です。
半導体・FPD製造など、高精度な温度測定が必要な分野で、プロセスの安定性向上に貢献します。
特長
- 高い絶対精度：±0.1°C※と再現性（2σ）：0.1°C※を実現
- 測定距離150mmにおいてΦ8mmの狭視野を実現
- 汎用性の高い電流出力と、電磁誘導ノイズの影響を受けにくい光デジタル出力の2系統の出力を用意
※一定条件下で使用した場合の実力値です。
用途
- サセプタが真空チャンバー内にある場合の温度測定例
窓を通して真空チャンバーの外からサセプタの温度測定が可能です。
- FPD製造プロセスにおける液晶基板の表面温度測定例
非接触測定のため、被測定物の表面に傷が付くことはありません。
- 研磨時の温度管理例
非接触測定のため、被測定物の表面に傷が付くことはありません。
注記
本製品の性能を最大限に引き出すため、お客様のご用途の詳細（測定対象物や設置環境など）をもとに、お打ち合せ、お見積をいたします。
製造会社: HORIBA
仕様
測定波長 | 8〜14μm |
|---|---|
測定温度範囲 | －50〜200℃ |
出力分解能 | 光デジタル出力：0.1℃、電流出力：0.025%FS以下 |
測定精度※ | ±4.0℃（対象温度 －50℃） |
再現性 | 0.7℃（対象温度 －50℃） |
応答速度 | 光デジタル出力：1.4秒以下（移動平均1秒、95%応答） |
データサンプリング周期 | 0.1秒 |
データ送信レート | 光デジタル出力：0.2秒、電流出力：0.1秒 |
測定視野 | Φ8mm以下／距離150mm（入射光量90%） |
放射率設定 | 0.001〜0.999任意（工場出荷時に設定） |
使用温湿度範囲 | 温度0〜55℃、相対湿度35〜85%RH（結露無きこと） |
電源 | DC24V±5% |
機能 | 光デジタル出力（JIS F05型）、電流出力 4〜20ｍA（負荷抵抗100Ω、非絶縁） フランジによる光軸調整済み |
外形寸法 | 55×44×96mm 電源、電流ケーブル付き（標準長さ2m） |
質量 | 300g以内 |
※条件：周囲温度24〜29℃（温度計取り付け部の温度も含む）、湿度55±20%、放射率補正設定1.000、外乱なきこと。
