デジタルマスフローコントローラ SEC-Z500X Series

概要

ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。

±1.0%S.P. の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジを実現しています。通信方法はデジタル/アナログ、DeviceNet™, EtherCAT®通信から選択可能。先端プロセスのみならず、様々な製造プロセスに最適なマスフローコントローラです。 

特長

  • マルチレンジ/マルチガス対応
    ユーザーサイドでのガス種・フルスケール流量変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
  • ワイドレンジ
    微少流量(5SCCM F.S)から大流量(500SLM F.S.)まで制御可能
  • 高精度
    ±1.0% S.P.(セットポイント)保証
  • 高速応答
    フルレンジ1秒以内(T98) 
  • コンパクトサイズ
    面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR Type)、1.125inchガスパネルに対応。
  • ウルトラクリーン対応
    接ガス部オールステンレス構造の採用、内面研磨処理標準。

製造会社: HORIBA STEC

測定原理

流量精度の向上

  • セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載
    多項式近似曲線による高度なデジタル流量補正を施す事により、全流量域における流量精度の向上を実現しました。また多種のプロセスガス流量を高精度流量計測システムを用いて計測し、プロセスガス流量精度の向上を図っています。
           

全流量域にわたる高速応答

  •  新開発のVariable PIDアルゴリズムを搭載:フルレンジ1秒以内
    全流量域にわたる高速応答を可能とするVariable PIDアルゴリズム(特許出願中)を新たに搭載しました。Variable PIDアルゴリズムとは、設定流量に応じた最適PID係数を用いる制御方式です。フルスケール流量・ガス種の変更後も高速応答を実現しています。ハイエンドモデル:SEC-Z500Xシリーズに標準搭載し半導体プロセスにおいて高い評価を得ています。