Model name | HF-700A |
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Measurement method | Fluoride ion electrode method |
Measurement range | 0 - 1000mg/L (0 - 100/200/500/1000mg/L) |
Repeatability | Within +/- 2% of the full scale |
Stability | Within +/- 2% of the full scale/10 min. |
황산/과산화수소 모니터 (저농도)
HF-700A는 묽은황산과 과산화수소에서 불화수소 농도를 ppm 정도로 안정화시켜 지속적인 측정이 가능하고 식각 공정 후 폴리머 잔류물 제거에 대한 효과적인 공정 관리가 가능합니다.
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