Monitorowanie zanieczyszczeń molekularnych w powietrzu w pomieszczeniach czystych przemysłu elektronicznego

W przemyśle elektronicznym, na przykład w produkcji półprzewodników, wyświetlaczy płaskich i urządzeń komunikacyjnych, AMC* może powodować pogorszenie wydajności i stanu sprzętu oraz jakości produktów w pomieszczeniach czystych.

*AMC: Zanieczyszczenie molekularne w powietrzu

Czy masz podobne problemy?

Ręczna analiza wymaga kosztów, umiejętności i czasu
Chcesz wiedzieć, kiedy jest właściwy moment na wymianę filtra chemicznego
Korozja półprzewodników urządzeń elektronicznych
Zaparowanie soczewki lustra sprzętu produkcyjnego
Degradacja napięcia przebicia folii
Błąd trawienia
Nieprawidłowy wzrost cienkiej warstwy

System monitorowania AMC firmy HORIBA umożliwia wizualizację stanu skażenia i redukcję kosztów zarządzania

System monitorowania AMC firmy HORIBA wspiera monitorowanie trendów stężeń zanieczyszczeń i konserwację filtrów chemicznych poprzez zautomatyzowane pomiary, a także uzupełnia konwencjonalne pomiary oparte na ręcznej analizie, przyczyniając się w ten sposób do rozwiązywania problemów klientów. Dzięki połączonym pomiarom atmosfery zewnętrznej możemy oferować bardziej kompleksowe rozwiązania pomiarowe za pomocą jednego systemu.

Cechy

Stabilny, ciągły pomiar automatyczny
Oszacowanie przyczyn usterek w produktach/sprzęcie peryferyjnym i określenie, kiedy należy wymienić filtry chemiczne, poprzez monitorowanie zmian
Łatwa obsługa
Nie są wymagane specjalne umiejętności. Zmniejsz koszty zarządzania, czas i koszty pracy
System dostosowany do wymagań
Pomiar wielopunktowy z selektorem linii pomiarowej i wózkiem (opcja). Wsparcie nie tylko pomiaru w pomieszczeniach czystych, ale także pomiaru powietrza zewnętrznego.

Studium przypadku

Pomiar zanieczyszczeń molekularnych w powietrzu (AMC) wewnątrz pomieszczenia czystego lub w powietrzu wentylacyjnym
Skupiony pomiar w punkcie, takim jak obszar określonego sprzętu
Wykrywa określone zdarzenia, np. wzrost stężenia tlenku azotu z powodu zwiększonego ruchu (atmosfera zewnętrzna).