āļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļĩāđāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļāđāļāļāļŠāļđāļāļāļīāđāļĻāļĐ
- āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļāđāļāļāđāļĄāđāļāļĢāļ°āļāļēāļĒāđāļŠāļāđāļāļāļĨāļģāđāļŠāļāļāļđāđ (NDIR) āļāļĩāđāļāļĢāļąāļāļāļēāļĢāđāļŦāļĨāļāļ§āļēāļ āđāļŦāđāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāđāļēāļāļĩāđāļāđāļāđāļāļ·āđāļāļāđāļĨāļ°āđāļŠāļāļĩāļĒāļĢāđāļāļĒāđāļĄāđāļĄāļĩāļāļēāļĢāļāļĢāļīāļāļāđ
- āļāļĩāļāļāļģāļāļąāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļāļąāļāļāļąāđāļāļāđāļģ (Minimum Detection Limit : MDL) āļāļĩāđ 10ppb āļāļķāđāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļĢāļāļāļĢāļąāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļĩāđāļāđāļāļāļĄāļĩāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģāļŠāļđāļ
āļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļĢāļīāļĄāļēāļ āļāļīāļāļāļēāļĄāļŠāļīāđāļāļŠāļāļāļĢāļ āđāļāļāđāļēāļāļŠāļĄāļāļļāļĨ
- āļĢāļāļāļĢāļąāļāļāđāļēāļāļāļąāļ§āđāļāļ āđāļāđāļ N 2, O 2, He, Ar, H 2 āđāļĨāļ° Air
āđāļāđāļāļēāļāļāđāļēāļĒ āđāļĄāđāļāđāļāļāļāļģāļĢāļļāļāļĢāļąāļāļĐāļē
- āđāļĄāļāļđāļāļāļŦāļāđāļēāļāļāļāļĩāđāđāļāđāļāļēāļāļāđāļēāļĒāļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļāļēāļĢāļāļģāļāļēāļāļāļāļāđāļāļĢāļ·āđāļāļāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđ āļāļēāļĢāļŠāļāļāđāļāļĩāļĒāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāđāļēāļāđ āļāđāļēāļĒāļāļķāđāļ
- āđāļĄāđāļāļģāđāļāđāļāļāđāļāļāļĄāļĩāļāļēāļĢāļāļąāļāļāļģāđāļŦāļāđāļāđāļāļāļāļāļāļāļīāļāļāļĨāđāļĨāļĒ
- āļāļāđāļŠāļāļāļāļĨ LCD āļŠāļĩāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļāļđāđāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļđāļāļĢāļēāļāļāđāļāļĄāļđāļĨāļāļĩāđāļŠāļ°āļŠāļĄāđāļ§āđāđāļāđ
āļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļ
- āļāļēāļĢāļāļīāļāļāļēāļĄāļāļĢāļ§āļāļŠāļāļāļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļĩāđ āļĢāļ°āļāļāđāļĒāļāļāļąāđāļāļāļēāļāļēāļĻ
āđāļĢāļāļāļēāļāđāļĒāļāļāļēāļāļēāļĻāđāļĒāļāļāļēāļāļēāļĻāļāļāļāļāļēāļāļāļąāđāļāļāļĢāļĢāļĒāļēāļāļēāļĻāļāļāļāđāļāđāļāļŠāđāļ§āļāļāļĢāļ°āļāļāļāļŦāļĨāļąāļāļāļāļāļāļīāđāļāļ (O 2) āđāļāđāļāļĢāđāļāļ (N 2) āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļāļ (Ar) āđāļāļĒāļāļēāļĢāļāļĨāļąāđāļāļāļĩāđāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāđāļāđāđāļāđāļ
āļāļēāļĢāđāļĒāļāļāļēāļāļēāļĻāļāļ°āļāđāļēāđāļāļīāļāļāļēāļĢāđāļāļĒāđāļāđāļāļ§āļēāļĄāđāļāļāļāđāļēāļāļāļāļāļāļļāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļāļāđāļēāļāđāļāđāļĨāļ°āļāļāļīāļāđāļāļŦāļāđāļ§āļĒāļāļĨāļąāđāļ āđāļāđāļāļēāļāļēāļĻāļāļ°āļāđāļāļāđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāđāļēāļāļąāļāđāļāļŦāļāđāļ§āļĒāļāđāļēāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļĨāđāļ§āļāļŦāļāđāļē (Pre-Purification Unit : PPU) āļāđāļāļ āđāļāđāļēāļŠāļđāđāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļāļĨāļąāđāļāļāđāļ§āļĒāļāļ§āļēāļĄāđāļĒāđāļ PPU āđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļāļāđāļāļāļĄāļēāđāļāļ·āđāļāļāļāļąāļāđāļāļāđāđāļē āļāļēāļĢāđāļāļāļāđāļāļāļāļāđāļāļāđ (CO 2) āđāļĨāļ°āļŠāļīāđāļāļŠāļāļāļĢāļāļāļ·āđāļāđ āļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĒāļđāđāđāļāļāļēāļāļēāļĻāđāļāļ·āđāļāđāļŦāđāđāļāđāđāļāļ§āđāļēāļāđāđāļēāđāļĨāļ° CO 2 āđāļĄāđāđāļāđāļēāđāļāđāļāļŦāļāđāļ§āļĒāļāļĨāļąāđāļāļāļķāđāļāļāļēāļāļāđāļēāđāļŦāđāđāļāļīāļāļāļēāļĢāđāļŠāļĩāļĒāļāļāļĨāļąāđāļāđāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāđāļĨāļ°āđāļŠāļĩāđāļĒāļāļāđāļāļāļēāļĢāļĢāļ°āđāļāļīāļ
HORIBA GA-370 āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļāļīāļāļāļēāļĄāđāļāđāļŠ āđāļāđāļāđāļāļĢāļ·āđāļāļāļĄāļ·āļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāļŠāđāļēāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļŠāļāļāļŠāļīāđāļāļŠāļāļāļĢāļāļāļĩāđāļāļēāļāļāļĒāļđāđāđāļāļāđāļēāļāļāļĩāđāđāļĒāļāļāļāļāļāļēāļāļāļąāļāļāļĒāđāļēāļāļāđāļāđāļāļ·āđāļāļāđāļāļ·āđāļāļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļ§āļēāļĄāļāļĨāļāļāļ āļąāļĒ āļāļāļāļāļēāļāļāļĩāđāļĒāļąāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļāđāļŠāđāļēāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļŠāļīāđāļāļŠāļāļāļĢāļ (CO, CO 2, CH 4) āđāļāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđāļāļąāđāļāļŠāļļāļāļāđāļēāļĒāļāļāļ O 2, N 2 āđāļĨāļ° Ar āļŠāđāļēāļŦāļĢāļąāļ āļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļąāļāļāļļāļāļ āļēāļ

āļŦāļĨāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļ
- āļ§āļīāļāļĩāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļāđāļāļāđāļĄāđāļāļĢāļ°āļāļēāļĒāļĨāļģāđāļŠāļāļāļđāđāđāļāļāļāļĢāļāļŠāļĄāļāļāļđāđāļĨāļāļąāđāļ
āļ§āļīāļāļĩ NDIR āđāļāļ Cross-Modulation āļāļ°āđāļāđāđāļāļĨāļīāļāļāļĒāļāđāļ§āļēāļĨāđāļ§āļāļĩāđāļŠāļĨāļąāļāļāļĩāđāļĢāļāļāļāļāļāļĩāđ (āđāļāđāļ 1 āđāļŪāļīāļĢāļāļāđ) āđāļāļ·āđāļāđāļŦāļĨāļāļāļāļāđāļēāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāđāļĨāļ°āļāđāļēāļāļāđāļēāļāļāļīāļāļŠāļĨāļąāļāļāļąāļāļāļĒāđāļēāļāļāļĢāđāļāļĄāđāļāļĢāļĩāļĒāļāļāļąāļāđāļāđāļēāđāļāđāļāđāļāļĨāļĨāđāļāđāļēāļāļŦāļāļķāđāļāđāļāļĨāļĨāđāđāļāļ·āđāļāļĢāļąāļāļŠāļąāļāļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāđāļāļāļĩāđāļāļĢāļąāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļĨāđāļ§āļāļāļāļāđāļēāļāļāļĩāđāļāđāļāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļ
āđāļāļ§āļīāļāļĩāļāļĩāđ āđāļĄāļ·āđāļāļāđāļēāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāđāļĨāļ°āļāđāļēāļāļāđāļēāļāļāļīāļāđāļāđāļāļāđāļēāļāļāļāļīāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļąāļ (āļāļļāļāļĻāļđāļāļĒāđ) āļāļ°āđāļĄāđāļĄāļĩāļāļēāļĢāļŠāļĢāđāļēāļāļŠāļąāļāļāļēāļāļĄāļāļāļđāđāļĨāļāļąāđāļ āļāļēāļĢāđāļĄāđāļĄāļĩāļāļīāđāļāļŠāđāļ§āļāļāļĨāđāļ āđāļāđāļ āļ āļēāļāļŠāđāļ§āļāļāļĩāđāļŦāļĄāļļāļāđāļāđ āļāļģāđāļŦāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļŠāđāļāļŠāļąāļāļāļēāļāđāļāļēāļāđāļāļļāļāļāļĩāđāđāļŠāļāļĩāļĒāļĢāđāļāļĢāļ°āļĒāļ°āļĒāļēāļ§āđāļāđ
āđāļāļ§āļīāļāļĩ NDIR āđāļāļāļĨāļģāđāļŠāļāļāļđāđ Cross-Modulation āļāļąāđāļ āļāļēāļĢāđāļāđāļĨāļģāđāļŠāļāļāļđāđ (āđāļŦāļĨāđāļāļāļģāđāļāļīāļāđāļŠāļ) āđāļĨāļ°āđāļāļĨāļĨāđāļāļđāđāļāļģāđāļŦāđāļāđāļēāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāđāļĨāļ°āļāđāļēāļāļāđāļēāļāļāļīāļāđāļŦāļĨāļŠāļĨāļąāļāļāļąāļāđāļāđāļēāđāļāđāļāđāļāļĨāļĨāđāļāļąāđāļāļŠāļāļ āđāļāļĒāđāļāļāļ°āđāļāļĢāļĄāļāļāļāđāļĄāđāļāļĢāđāļāļāļāļāļāđāļāļāđāļāļāļĢāđāļ āļēāļĒāđāļāđāļāļĢāļ·āđāļāļāļāļĢāļ§āļāļāļąāļāļāļ°āđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāđāļāļāļēāļāļāđāļēāļĒāđāļĨāļ°āļāļ§āļē āļāļģāđāļŦāđāļĄāļĩāļŠāļąāļāļāļēāļāļĄāļēāļāļāļķāđāļāđāļāđāļāļŠāļāļāđāļāđāļēāđāļĄāļ·āđāļāđāļāļĢāļĩāļĒāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļąāļāļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāļāļĩāđāđāļāđāđāļāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļāļŦāļĄāļļāļ āļāļķāļāļāđāļ§āļĒāļāļĢāļąāļāļāļĢāļļāļāļāļąāļāļĢāļēāļŠāđāļ§āļ SN āđāļāđ
āļāļĢāļēāļāđāļŠāļāļāļĢāļ°āļāļąāļāļŠāļąāļāļāļēāļāļĢāļāļāļ§āļāļāļāļāļ§āļīāļāļĩāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļāđāļāļāđāļĄāđ Cross-Modulation āļĨāļģāđāļŠāļāļāļđāđāđāļāļāļāļĢāļāļŠāļĄāļāļāļđāđāļĨāļāļąāđāļ āļāļķāđāļāļāđāļģāļĄāļēāļāđāļĨāļ°āđāļŠāļāļĩāļĒāļĢ āļāļąāļāļāļąāđāļ āđāļĄāđāđāļāđāđāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāđāļāļāļāļāļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāđāļāļāđāļēāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļđāļ āļ§āļīāļāļĩāļāļĩāđāđāļĄāđāļĄāļĩāļāļēāļĢāļāļĢāļīāļāļāđāđāļāđāļāļĻāļđāļāļĒāđāļāļĩāđāļāđāļĒāļąāļāļĄāļĩāđāļŠāļāļĩāļĒāļĢāļ āļēāļāđāļāļĢāļ°āļĒāļ°āļĒāļēāļ§āđāļĨāļ°āļĢāļ°āļāļąāļāļŠāļąāļāļāļēāļāļĢāļāļāļ§āļāļāđāļģ

āđāļāļāļāļĨāļīāđāļāļāļąāđāļāļāļĩāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļ
āļŠāļģāļĢāļ§āļāđāļāļīāđāļĄāđāļāļīāļĄ
âķ āļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļŠāļāļāļāļļāļāļ āļēāļāđāļŪāđāļāļĢāđāļāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļ FCV āļāļĩāđāļŠāļāļēāļāļĩāđāļŪāđāļāļĢāđāļāļāđāļāļŠāļāļēāļāļāļĩāđ