数字式质量流量控制器 SEC-N100 系列

概要

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式(数字式/模拟式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能,有效减少客户成本。

*1包括SEC-N177R

特征

  • 大范围控制,从微小流量至大量程,10SCCM~1000SLM
  • 多种通讯方式及电源供给

型号

选择通讯方式

选择供电方式

SEC-N102 系列

数字式信号传输

▶RS485 F-NET协议

模拟式通讯

▶0~5VDC

HORIBA可提供PE系列供应电源

SEC-N104 系列

DeviceNet™ 通讯

符合ODVA标准

SEC-N105 系列

CC-Link®通讯

模拟式通讯

▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA

符合  CC-Link®标准 24VDC(13 ~ 32VDC)


SEC-N106系列

PROFIBUS™ 通讯方式


符合PROFIBUS™ 标准 24VDC(13 to 32VDC)

模拟式通讯

▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA

SEC-N107系列

EtherCAT® 通讯方式

符合EtherCAT®标准 24VDC ± 4V

  • 高精度:±1.0% S.P. (*1)
  • 1秒内快速响应 (*1)
  • 多气体,多量程解决方案

(*1)包括SEC-N17XR

多气体,多量程的功能可使用软件方便的更改MFC的气体或满量程流量。


制造: HORIBA STEC

产品相关图及其它

数字式质量流量控制器 SEC-N100 系列