化学药液浓度计

HORIBA的化学药液浓度计可实时监测不同药液的浓度,诸如SC-1、SC-2、SPM、HF等。

此款浓度计可应用于半导体制程中的清洗或刻蚀工艺。我们的化学药液浓度计可同时测量多达8种不同组份或浓度的药剂(取决于我们的型号规格)。我们同样也可以监测单一组份的化学试剂,确保满足客户制程工艺和设备。

我们所有的产品都保证高精度和高稳定性,客户可选择如下不同的化学药液浓度计已满足您的需求。

化学药液浓度计

化学药液浓度计 CS-700

HORIBA CS-700系列的化学药液浓度计拥有更好的性能去监测混酸中的各个成分,包括高精尖端半导体制程中所需的各种化学药液。通过改进HORIBA知名的光谱分析测量法,CS-700系列实现了5倍的监测性能提升。提高质量控制能有效改进半导体工艺流程。

化学药液浓度计 CS-600F

CS-600F实现了更高标准的功能,旨在更好的适应生产制造,实现半导体湿法工艺对化学药液浓度更精准的管理。比如在多种不同应用中的在线监测高温化学药液,更安全的减少停机时间操作,更轻便的尺寸节约占地面积。

Fiber Optic Type Chemical Concentration Monitor CS-100F1 Series

在线多样监测!!

适用于使用批次式、单槽、单晶圆各方式的清洗装置。

化学药液浓度计 CS-100

CS-100系列浓度计可实时监测化学药液中各种成分的浓度,并可用于控制药液自动补酸的时间。

用途

通过连续测量可优化制程

增加化学药液的使用寿命以减少消耗量

较少批次缺陷有助于提升产量

氢氟酸浓度计

低浓度HF/HCl/NH3 浓度计HF-960M

高精密测量出低浓度氢氟酸,盐酸和氨气

HF/HCl Concentration Monitor HF-960H

[新]

可用于测量高浓度氢氟酸、盐酸等

氢氟酸浓度计 HF-960EM

可监测低浓度氢氟酸到未稀释的氢氟酸原液的浓度计。HF-960EM通过自动校正量程范围的功能实现高性能监测。同样PFA材质的传感器完全避免污染。

柠檬酸浓度计

氢氧化钾浓度计

氢氧化钾浓度计 HE-960H-KOH

高精度,大范围氢氧化钾浓度计使用耐化学性传感器。监测范围:0-20%

TMAH浓度计

TMAH计 HE-960H-TM-S

准确监测TMAH(羟化四甲铵),一种在半导体制程中光刻工艺时使用到的显影液的主要成分。

Wide range TMAH Concentration Monitor HE-960H-TM

在开发处理中能够理想地测量出TMAN浓度

溶臭氧计

溶解臭氧浓度计 HZ-960

高性能,大范围溶解臭氧浓度计

双氧水浓度计  HZ-960HPO-M

稳定测量双氧水浓度。大范围测量:0 - 1000 ppm / 0 - 4000 ppm / 0 - 1% / 0 - 5%

溶氧计

溶氧计 HD-960L

稳定测量低浓度氢氟酸中的溶解氧。从μg/L 到mg/L自动切换三种量程范围。测量范围:0-20.00 mg/L

电阻率计

水阻计 HE-Z-100T

通过监测管理冷却装置的杂质情况,以改进设备维护。

碳质探头电阻率计 HE-960R-GC (W)

炭质传感器电阻率计HE-960R-GC(W) — 炭质传感器具有高效的抗药业腐蚀性能,可应用于单槽清洗设备

炭质传感器具有高效的抗药业腐蚀性能,可应用于单槽清洗设备

2-channel Carbon Sensor Resistivity Meter HE-960RW-GC(W)

HE-960RW-GC可连接两个传感器并可同时进行测量。

一台变换器可同时进行高性能高精度地测量和输出2个不同位置的电阻率。

Industrial Resistivity Meter HE-480R

工业用比电阻计HE-480R是具有高精度温度补偿性能的比电阻计。

它最适合于连续监测在半导体领域以及电子・食品・医药品等各种领域的制造工艺中所使用的超纯水 。

导电计

碳电极导电率计(低浓度型)HE-480C-GC

碳电极导电率计(针对低浓度)。测量放范围:0 - 9999 μS/cm(传感器FS-07F),0 - 999 μS/cm (传感器 ESH-01-L-GC5),0 - 9999 μS/cm (传感器 ESH-1-L-GC9)

Carbon Sensor Conductivity Meter (High concentration type) HE-960HC

可用于在半导体和FPD制造过程中管理化学品和液体废物

玻璃碳电极导电率计(低浓度型)HE-960LC

碳电极导电率计(针对低浓度)。测量范围: 0 - 1000 μS/cm, 0 - 10000 μS/cm (传感器 FS-07F)