製品情報

薬液濃度モニタ CS-700

概要

薬液濃度モニタ CS-700シリーズは、半導体製造工程で使用される混合液の各成分濃度を高精度に測定します。
HORIBA独自の光学システムを改良し、混酸中の成分濃度に対して従来比約5倍の高精度測定を実現いたしました。
半導体製造工程の品質管理の強化や薬液管理の精度向上に貢献いたします。

※測定対象、測定濃度範囲による

特長

商標薬液など多成分薬液のコントロールに最適!

  • 最大8成分をリアルタイムに高精度測定
  • 必要試薬ゼロでコスト削減に寄与
  • プラグinプレイ

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

測定範囲と再現性精度

Unit : mass%

成分名

測定範囲

再現性精度

第1薬液

HNO3

30.0 - 34.0

±0.5

HF

2.00 - 4.00

±0.10

H3PO4

35.0 - 39.0

±0.6

H2SiF6

0.00 - 3.00

±0.50

H2O

25.0 - 33.0

±1.0

測定条件
1) 測定間隔:約8秒
2) 移動平均回数:10回
3) 薬液温度変化、周囲温度変化:±1℃以内/1時間、急激な温度変化なきこと
4) 薬液温度範囲:20〜30℃

  • 再現性精度は平均値からの最大誤差(1時間)で規定しています。
  • アナログ出力は上表の値に対して4 〜 20 mAが割り当てられています。(最大負荷抵抗500Ω)

 

従来機とのスペック比較

item

CS-100

CS-700

Measurement principle

Absorption spectroscopic method

Absorption spectroscopic method

Sample temperature

20 to 30 Degree C

20 to 30 Degree C

Ambient temperature

20 to 25 Degree C

20 to 30 Degree C

Components

Max. 4 components

Max. 8 components

Chemical range

Max. 4 ranges

Max. 6 ranges

Communication

Parallel I/O, Analog output, RS-232C

Parallel I/O, Analog output, RS-232C

Analog output
(4-20 mA)

Max. 2 components

Max. 6 components

Dimension

205(W) X 329(D) X 269(H)mm

218(W) X 391(D) X 213(H)mm

Power source

DC 24V

DC 24V(Same connecter of CS-100)

Consumable parts

Halogen lamp

Halogen lamp (Same as CS-100 type)

Wavelength

UV/NIR

UV/NIR

Wetted material

PTFE, PFA, Sapphire or Quartz,

PTFE, PFA, Sapphire,
Kalrez 4079 O-ring

外形寸法図・他(単位:mm)

CS-700 Schematics

測定原理

IO(λ)は入射光量、I(λ)は薬液通過後の光量、α(λ)は比例係数、Lは測定セルの厚さ、cは薬液の濃度。

光を、水や薬液に照射すると、物質の種類や構造に依存した固有の波長で吸収が起ります。
その度合いを吸光度(Absorbance)といいますが、波長λの吸光度A(λ)はランベルトベールの法則(Lambert Beer's Law)に基づき、(1)式で表すことができます。
吸光度A(λ)と濃度cの比例関係を利用して定量分析が可能となり、濃度が求められます。
複数成分の混合溶液は各成分の光吸収が重なっている為に、吸光度データを用いて成分を分離する必要が出てきます。
CS1 Seriesではケモメトリクス(Chemometrics)分野における多変量解析手法を用いて最大4成分までの薬液分離を行っています。