半導体・FPDウェットプロセス

カーボンセンサ導電率計 高濃度タイプ <HE-960HC>

概要

半導体製造やFPD製造工程の薬液・排液管理に最適
薬液管理や排水管理のパラメータの基本となる導電率計。HE- 960HCは、ワイドレンジを切替せずに測定することが可能です。
また、2種類の濃度換算機能を備えていますので、特定薬品の濃度変化をモニタでき、プロセス濃度計としても使用できます。

特長

  • ワイドレンジ対応
  • 表示レンジ自動切替
  • 多様な温度補償に対応
  • 濃度換算機能を搭載
  • 耐薬品性カーボンセンサ採用

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

形式

HE-960HC

センサ入力

1チャンネル

温度センサ仕様

測温抵抗体 1000 Ω/0℃

周囲使用温湿度

温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと)

電源

AC100~240V ±10% 50/60Hz 20VA(max)

保護構造

パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型)

質量

約550g

適合規格

CEマーキング、FCC Part15

組合せセンサ

FES-510シリーズ(流通型4極カーボン導電率センサ)

外形寸法図・他(単位:mm)

Dimensions of HE-960HC

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