半導体・FPDウェットプロセス

過酸化水素モニタ <HZ-960HPO-M>

概要

過酸化水素水モニタ HZ-960HPO-Mは半導体や太陽電池の洗浄プロセスにおいてパーテクル除去や不純物金属イオン除去に使用される過酸化水素水の濃度をモニタリングします。
インライン型センサで各種配管(PFA)径を取りそろえています。
センサと変換器は分離されており、センサをプロセスラインに組込み可能です。

特長

  • 豊富な測定レンジ
  • 選べる取り合い配管サイズ
    標準3/4インチに加え、1/2インチ、1インチを取りそろえています。
  • リモート校正機能
    インラインでの使用向けに、外部入力によるリモート校正機能を備えています。 自己診断機能によりエラー状態を監視することが可能です。
  • 高い再現性精度・安定性精度
    FS ±0.2 %以内の再現性精度を実現

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

製品名

過酸化水素濃度モニタ(変換器)

形式

HZ-960HPO-M

対応検出器

ZH-10HPO

ZH-40HPO

ZH-100HPO

ZH-500HPO

測定対象

純水中の過酸化水素濃度

電源

DC 24 V ±10% 15 W

構造

パネル取り付け屋内設置型
パネルケース:ABS、端子部:PBT
パネル部:防滴構造

保護構造

パネル部:IP65(IEC60529,JIS C0920)
リヤケース:IP20、端子部:IP00

適合規格

CEマーキング

FCC規則

外形寸法

96(W)×96(H)×115(D) mm
ケース奥行:約105 mm(パネルマウント時)
※検出器:ZH-XXXHPOシリーズの外形寸法は、型式によりますので別途お打合せください

質量

約550 g
※検出器:ZH-XXXHPOシリーズ 約2kg

外形寸法図・他(単位:mm)

HZ-960とHZ-960HPO-Mの外寸図