HORIBA의 화학 공정 제어 및 습식 공정 모니터링을 위한 제품 범위는 공정 안정성을 개선하고 폐기물을 줄이기 위해 반도체 제조 공정 및 기타 고성능 애플리케이션에 걸쳐 사용됩니다.

화학 농도 모니터

HORIBA의 화학 농도 모니터는 반도체 제조 공정과 같은 첨단 산업의 중요한 세척 및 식각 공정에 사용됩니다. HORIBA의 모니터는 SC-1, SC-2, SPM, HF 등 다양한 화학 물질의 농도를 실시간으로 측정합니다.

HORIBA의 화학 농도 모니터는 단일 성분과 최대 8개의 성분을 동시에 측정할 수 있습니다(제품 모델에 따라 다름). HORIBA의 인라인 및 오프라인 고성능 공정 모니터는 제조 공정 및 설비와 완벽하게 일치합니다.

우리의 모든 모델은 유지보수가 적고 매우 강력함과 동시에, 매우 정확하고 반복 가능한 프로세스 모니터링을 제공하여 고부가가치 프로세스를 개선하고 낭비를 줄입니다.

인라인 pH 모니터

pH는 광범위한 산업에서 테스트되는 가장 일반적인 매개 변수 중 하나입니다. HORIBA사의 인라인 pH 모니터는 제약, 식품, 음료, 농업 등 다양한 산업의 제조 공정에 사용됩니다.

pH를 지속적으로 측정해야 하는 경우, HORIBA의 고품질 인라인 pH 모니터는 시간이 지남에 따라 중요한 공정 데이터를 수집하고 기록함으로써 제조 품질과 생산성을 향상시키는 데 도움이 될 수 있습니다.

초순수 모니터

일부 제조 산업에서는 일관되고 신뢰할 수 있는 정수 또는 초순수 공급원이 필요합니다. 그 예로는 반도체, 제약, 발전 등이 있습니다. 물은 불순물을 제거하기 위해 처리되며 용도에 따라 조절됩니다.

HORIBA는 초순수 또는 정제수를 모니터링하기 위한 매우 민감한 실리카 모니터를 제공한다. 이 모니터는 최첨단 반도체 제조 공정에 널리 사용됩니다.