IT-470F-H

Termômetro infravermelho de alta precisão [Tipo embutido]

Termômetro de alta precisão líder do setor*

O IT-470F-H é um termômetro infravermelho sem contato, do tipo embutido, com precisão líder do setor*. Ele contribui para a melhoria da estabilização de processos que exigem medições de temperatura de alta precisão, como na produção de semicondutores e FPDs.

 

*Resultados de um estudo interno realizado em 2025

 

  • Alta precisão absoluta de medição de ±0,1°C* e repetibilidade superior (2σ) de 0,1°C*.

*Valor real, sob determinadas condições.

Aplicação

Para a produção de semicondutores e FPDs, que exige medições de temperatura de alta precisão.

  • Caso o susceptor esteja em uma câmara de vácuo
    É possível medir a temperatura de um susceptor a partir do exterior da câmara através da janela.
  • No caso da medição da temperatura da superfície do substrato de cristais líquidos no processo de produção de FPD.
    Como a medição não é feita por contacto, a superfície não é danificada.
  • No caso do controlo da temperatura no polimento
    Como a medição não é feita por contacto, a superfície não é danificada.

 

 

Comprimento de onda de medição8 a 14 µm
Faixa de temperatura de medição-50 a 200℃
Resolução de saídaSaída digital óptica: 0,1℃ Saída de corrente ≤0,025%FS
Precisão*
(Saída digital óptica)
±4,0℃ (Temperatura do objeto -50℃)
±0,8℃ (Temperatura do objeto -20℃)
±0,6℃ (Temperatura do objeto 0℃)
±0,5℃ (Temperatura do objeto 23℃)
±0,4℃ (Temperatura do objeto 100℃〜)
(A interpolação linear é aplicada aos pontos médios da temperatura do objeto e os dados interpolados são arredondados para uma casa decimal.)
Repetibilidade
(Saída digital óptica)
0,7℃ (Temperatura do objeto -50℃)
0,5℃ (Temperatura do objeto 23℃)
0,5℃ (Temperatura do objeto 200℃)
(No caso de emissividade = 1,000 e utilize o valor de 2σ de 10 medições)
Tempo de resposta (saída digital óptica)Saída digital óptica: ≤1,4 segundos (média móvel de 1 segundo, com 95% de resposta)
Período de amostragem de dados0,1 segundo
Período de atualização do vídeoSaída digital óptica: 0,2 segundos. Saída de corrente: 0,1 segundos.
Diâmetro de mediçãoΦ8mm/Distância 150mm (quantidade de luz incidente 90%)
Configuração de emissividade0,001 a 1,000 variável (Configuração de fábrica para envio)
Temperatura e umidade de operação0 a 55℃, 35 a 85% UR (sem condensação)
PotênciaDC24V±5%
FunçãoSaída digital óptica (JIS F05) Saída de corrente de 4 a 20 mA (Resistência de carga de 100 Ω, não isolada)
DimensõesCabo de alimentação e corrente de 55×44×96mm incluído (comprimento padrão de 2m)
Massa≤300g

*Condições: Temperatura de operação de 24 a 29℃ (incluindo a temperatura de fixação), Umidade de 55±20%, Ajuste de correção de emissividade de 1.000.

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