Monitoramento da contaminação molecular aerotransportada em salas limpas da indústria eletrônica

• A análise manual acarreta custos, habilidades e tempo.
• Gostaria de saber o momento adequado para substituir o filtro químico.
• Corrosão de matrizes em dispositivos eletrônicos
• Lente de espelho embaçada de equipamento de fabricação
• Degradação da tensão de ruptura do filme de oxidação
• Erro de gravação
• crescimento anormal de película fina

O sistema de monitoramento AMC da HORIBA auxilia no acompanhamento das tendências de concentração de contaminantes e na manutenção de filtros químicos por meio de medições automatizadas, complementando as medições convencionais baseadas em análises manuais e, assim, contribuindo para a solução dos problemas dos clientes. Através da medição combinada da atmosfera externa, podemos oferecer soluções de medição mais abrangentes com este sistema.

Características

• Medição automática e contínua estável
  Estimar as causas de defeitos em produtos/equipamentos periféricos e quando substituir os filtros químicos através do monitoramento de tendências.
• Operação fácil
  Não são necessárias habilidades especiais. Reduza custos de gestão, tempo e mão de obra.
• Construir um sistema de acordo com a solicitação
  Medição multiponto com seletor de linha e tipo carrinho portátil (opcional). Suporta medições não só em salas limpas, mas também em ar externo.

• Medição da contaminação molecular em suspensão no ar (AMC) dentro de uma sala limpa ou no ar de ventilação.
• Medição focada em um ponto específico, como a periferia de determinado equipamento.
• Detecta eventos específicos, como um aumento na concentração de óxido de nitrogênio devido ao aumento do tráfego (atmosfera externa).