UVISEL Plus

Ellipsomètre spectroscopique du FUV au NIR: 190 à 2100 nm

L'ellipsomètre de référence pour la mesure des couches minces

L'ellipsomètre UVISEL Plus offre la meilleure combinaison de modularité et de performances pour la caractérisation avancée des couches minces, des surfaces et des interfaces.

Basé sur la technologie de modulation de phase, l'ellipsomètre UVISEL Plus offre une conception optique performante qui couvre en continu la gamme spectrale de 190 à 2100 nm. Il fournit des données de haute qualité sur toute la gamme spectrale, avec une grande précision, des mesures à haute résolution et un excellent rapport signal/bruit.

La technologie de modulation de phase se caractérise par des changements de polarisation à haute fréquence (50 kHz), sans aucun mouvement mécanique. Elle permet d'obtenir :

• Des mesures très précises pour toutes les valeurs de (Ψ,Δ)
• Un excellent rapport signal/bruit du FUV au NIR
• Une vitesse d'acquisition des données très rapide, pouvant atteindre 50 ms/point, idéale pour les études cinétiques et les mesures in situ en temps réel
   

L'ellipsomètre à modulation de phase UVISEL Plus offre une sensibilité et une précision supérieures pour la caractérisation des couches minces par rapport aux ellipsomètres conventionnels utilisant des éléments rotatifs. Il permet de détecter des couches ou des interfaces très minces que nul autre ellipsomètre ne peut voir, ainsi que de caractériser des couches épaisses pouvant atteindre 50 µm. La mesure et la caractérisation d'échantillons transparents avec réflexions arrière sont simples et précises et ne nécessitent pas de grattage de la face arrière.

Conçu pour offrir une flexibilité accrue dans les mesures de couches minces, l'UVISEL Plus propose des microspots pour les échantillons structurés, un angle variable, une platine de cartographie automatique et une gamme d'accessoires, ce qui le rend évolutif pour répondre à tous vos besoins en matière d'applications et de budget.
La conception modulaire de l'UVISEL Plus permet de l'utiliser soit comme outil de métrologie de paillasse, soit pour une intégration in situ dans des chambres de traitement ou des machines roll-to-roll.

L'UVISEL Plus est contrôlé soit par la plateforme logicielle DeltaPsi2, soit par l'interface Auto-Soft, communes à tous les ellipsomètres HORIBA. DeltaPsi2 fournit un ensemble complet pour la mesure et la modélisation permettant de traiter à la fois les applications courantes et avancées des couches minces, tandis que l'interface Auto-Soft offre un flux de travail intuitif pour accélérer la collecte et l'analyse des données.

L'UVISEL Plus est l'ellipsomètre spectroscopique le plus polyvalent pour les mesures d'épaisseur de couches minces et de constantes optiques dans les domaines de la recherche et du traitement des matériaux, des écrans plats, de la microélectronique et du photovoltaïque.

L'UVISEL Plus est considéré comme l'ellipsomètre de référence pour la science des matériaux avancés.