ぶんせきコラム

「X線分析顕微鏡」でひろがる新しい分析


『X線分析顕微鏡』は、試料をステージに置くだけで光学像、定量・定性マッピング、レントゲン像を、空間分解能10μmで観察し、見たいところをすぐ分析できる顕微鏡です。

この装置の活躍の場は、研究・開発部門から生産・品質管理の現場までさまざま。今回は、電子部品実装の場合を例に、その応用方法をみてみましょう。
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鉛フリーはんだ中のボイドを透過X線で観察
『X線分析顕微鏡』は高分解能の透過X線像により、試料内部の構造解析が可能です。X線の輝度が従来比で50倍にアップしたため、これまで難しかった透過能力が向上し、短時間でしかも非破壊の分析ができるようになりました。下の例では、鉛フリーはんだの内部にある、大きさ10μmのボイド(空洞)も一目で発見できます。

鉛フリーはんだのイオンマイグレーション
X線の輝度アップにより、マクロ領域はもちろん、10μmのX線ビームでミクロ領域までカバーした分析が可能です。たとえば、プリント基板実装で配線間ショートなどの原因となるイオンマイグレーション現象。『X線分析顕微鏡』ではフラックスでコーティングされた上からも、元素分析が非破壊で短時間で行え、原因解析に威力を発揮します。

『X線分析顕微鏡』のさまざまな応用例
ご紹介した例だけでなく、『X線分析顕微鏡』が活躍する分野は多岐にわたります。そのいくつかをご紹介しましょう。

○大学や公立研究機関
土壌中の重金属分析
○食品メーカ
包装材料や食品中の異物分析
○電子部品メーカ
電子材料や樹脂モールド中の有害物質(Cd、Pbなど)測定
○樹脂関連メーカ
樹脂中の異物分析
○薬品メーカ
錠剤中の異物分析
○バイオ研究
歯や臓器などの生体組織試料分析
○非破壊分析
文化財分析や犯罪捜査など

このほかにも、『X線分析顕微鏡』の応用分野は無限にひろがります。みなさまからの「こんな使い方ができませんか?」というお声を、ぜひお聞かせください。詳しくは下記の製品情報から。

関連情報
HORIBA:ニュースリリース
「X線の目で品質管理/見たいところをすぐ分析
X線分析顕微鏡『XGT-5000』開発」
HORIBA:ぶんせきcafe
「WEEE&RoHS対応のソリューション」