Série EC-5000

Controlador de pressão de escape

O controlador de pressão de exaustão da série EC-5000 pode manter uma pressão constante, escolhida pelo usuário, dentro da câmara. O motor de passo de alta resolução e a válvula borboleta exclusiva garantem uma resposta rápida e precisa a quaisquer alterações de pressão.

Segmento: Semicondutor

Divisão:Controle de fluidos

Fabricante: HORIBA STEC, Co., Ltda.

Benefits:

Adequado para alto vácuo: corpo em aço inoxidável
Resistente à corrosão: também estão disponíveis modelos com corpo em PTFE.
Em conformidade com a RoHS.

Quando a taxa de fluxo de escape é ajustada para níveis ótimos:

A resina é distribuída em uma película uniforme.
A deposição secundária da névoa é evitada.
A difusão de vapores perigosos é impedida.

Há menos variação na sensibilidade causada pelo acúmulo de resina e outras contaminações em comparação com o controle por sensor de vazão, e a influência da turbulência e outros ruídos é eliminada, o que possibilita um controle superior, estável e responsivo.

Modelo EC-

5104

5105

5202

Tamanho compatível

NW40

NW50

Conexão de PTFE de 25 mm

Conexão de PTFE de 1 polegada

Materiais na área de contato com o gás

SUS316L, borracha fluorada

PTFE, PEEK, borracha fluorada

Condutância
(em área de vácuo)

0,4 a 80 L/s

0,6 a 200 L/s

——

Vazão de saída a 100 mm H2O
(totalmente fechado)

20 L/min

25 L/min

3L/min

* Este produto está sujeito à Lei de Controle de Exportações do Japão (ou seja, consta na lista de controle). Antes de ser exportado do Japão para o exterior ou fornecido a não residentes, é necessário obter uma Licença de Exportação junto ao Ministério da Economia, Comércio e Indústria (METI) do Japão.

Dimensão externa

Exhaust Pressure Controller EC-5000 Series Dimensions1