Instrumentação GDOES de RF pulsada
A espectroscopia de emissão óptica por dispersão de gás (GDOES) é uma técnica analítica que proporciona uma análise ultrarrápida do perfil de profundidade elementar de materiais estratificados, oferecendo simultaneamente a medição quantitativa de todos os elementos e da espessura com resolução nanométrica. Os instrumentos GDOES de radiofrequência pulsada da HORIBA, com perfilamento por interferometria diferencial (DiP), são as ferramentas de caracterização complementares ideais para pesquisa de materiais e desenvolvimento de processos.
A inovadora fonte de radiofrequência pulsada permite a análise de todos os tipos de amostras sólidas com desempenho otimizado, desde o primeiro nanômetro até mais de 150 µm. Materiais poliméricos são facilmente depositados por pulverização catódica com a tecnologia patenteada de Pulverização Catódica Ultrarrápida (UFS). Além disso, esta fonte também pode ser usada para preparar superfícies de amostras para Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV).
Todos os elementos podem ser medidos, incluindo hidrogênio, deutério, lítio, carbono, nitrogênio, oxigênio e muitos outros.
A tecnologia patenteada de Perfilagem por Interferometria Diferencial (DiP) permite a medição direta da profundidade em função do tempo, com precisão nanométrica, sendo realizada simultaneamente à análise GD.
Os detectores de alta faixa dinâmica (HDD) patenteados, utilizados em todos os instrumentos HORIBA GD, permitem a otimização automática e em tempo real da sensibilidade, para analisar elementos em níveis de traço em uma camada e em concentrações significativas em uma segunda camada, sem comprometer a qualidade ou a necessidade de ajustes.