Processo de esterilização na fabricação de alimentos e bebidas
Dimensão externa
IR-400
Monitor de gás de alta qualidade para monitoramento do ponto final da limpeza da câmara.
O IR-400 oferece monitoramento em tempo real do ponto final da limpeza da câmara durante o processo de deposição. Ao otimizar o processo de limpeza, o IR-400 reduz o tempo de limpeza e o consumo de gás. Essa redução no consumo de gás de limpeza leva a uma diminuição dos danos à câmara e aumenta a vida útil de todos os componentes do sistema.
- Monitoramento de múltiplos gases (com suporte para SiF 4 e CF 4) (IR-422)
- Alta sensibilidade
- Função de aquecimento por célula a gás até 180°C.
- Vários monitores
- Comunicação analógica/digital.
Benefícios do monitoramento de endpoints em tempo real com o IR-400
- Reduzir o tempo de limpeza da câmara
- Reduzir o uso de gases de limpeza
- Processo de limpeza repetível e previsível
- Maior vida útil dos componentes da câmara
Exemplo de aplicação
- Linha de exaustão da câmara de monitoramento
Técnicas de Medição
Confiável e de alto desempenho.
Absorciometria infravermelha não dispersiva (NDIR)
O método de absorciometria infravermelha empregado pela série IR-300 utiliza o princípio da absorção, pelas moléculas de gás, da luz infravermelha emitida por uma fonte de luz infravermelha. A saída de uma amostra que absorveu o gás em análise é comparada a uma saída de referência sem absorbância, e o resultado é convertido em concentração do gás. O uso desse método de feixe duplo permite a obtenção de resultados de medição estáveis a longo prazo.
O sistema óptico é composto por uma fonte de luz, uma célula de gás e detectores de feixe duplo. A estabilidade do detector de feixe duplo foi comprovada ao longo de um período de mais de 40 anos.
