O monitoramento da concentração de soluções químicas desempenha um papel fundamental como parte vital do controle de processos "Monitorar → Feedback → Controlar", em consonância com a evolução dos processos de semicondutores. HORIBA possui uma ampla linha de monitores de concentração química especializados para o gerenciamento da concentração química, desde a fase inicial de desenvolvimento (FEOL) até a fase final de desenvolvimento (BEOL), a fim de atender às necessidades dos clientes.