IT-470F-H 

Hochpräzises Infrarot-Thermometer [Eingebauter Typ]

Branchenführendes* hochpräzises Thermometer

Das IT-470F-H ist ein integriertes, berührungsloses Infrarotthermometer mit branchenführender* Genauigkeit. Es trägt zur Verbesserung der Prozessstabilisierung bei, für die hochgenaue Temperaturmessungen erforderlich sind, wie beispielsweise bei der Halbleiter- und FPD-Produktion.

 

*Ergebnisse der internen Studie 2025

 

  • Absolut hohe Messgenauigkeit von ±0,1°C* und überlegene Wiederholbarkeit (2σ) von 0,1°C*.

*Tatsächlicher Wert unter gegebenen Bedingungen.

Anwendung

Für die Halbleiter- und FPD-Produktion, die eine hochgenaue Temperaturmessung erfordert

  • Im Falle eines Suszeptors in einer Vakuumkammer
    Die Temperaturmessung eines Suszeptors ist von außerhalb der Kammer durch das Fenster möglich
  • Bei der Messung der Oberflächentemperatur eines Flüssigkristallsubstrats im FPD-Herstellungsprozess.
    Da die Messung berührungslos erfolgt, wird die Oberfläche nicht beschädigt.
  • Bei der Temperaturregelung beim Polieren
    Da die Messung berührungslos erfolgt, wird die Oberfläche nicht beschädigt.

 

 

Messwellenlänge8 bis 14µm
Messtemperaturbereich-50 bis 200℃
AusgabeauflösungOptischer Digitalausgang: 0,1 ℃ Stromausgang ≤ 0,025 % FS
Genauigkeit*
(Optischer Digitalausgang)
±4,0℃ (Objekttemperatur -50℃)
±0,8℃ (Objekttemperatur -20℃)
±0,6℃ (Objekttemperatur 0℃)
±0,5℃ (Objekttemperatur 23℃)
±0,4℃ (Objekttemperatur 100℃〜)
(Für die Mittelpunkte der Objekttemperatur wird eine lineare Interpolation angewendet und die interpolierten Daten werden auf eine Dezimalstelle gerundet.)
Wiederholbarkeit
(Optischer Digitalausgang)
0,7℃ (Objekttemperatur -50℃)
0,5℃ (Objekttemperatur 23℃)
0,5℃ (Objekttemperatur 200℃)
(Im Falle eines Emissionsgrades von 1,000 wird der 2σ-Wert der 10-fachen Messung verwendet)
Reaktionszeit (optischer Digitalausgang)Optischer Digitalausgang: ≤ 1,4 Sek. (laufender Durchschnitt 1 Sek., bei 95 % Reaktion)
Datenerfassungs-Zyklus0,1 Sek.
Display-Aktualisierungs-ZyklusOptischer Digitalausgang: 0,2 Sek. Stromausgang: 0,1 Sek.
MessdurchmesserΦ8mm/Abstand 150mm (einfallende Lichtmenge 90%)
Emissionsgradeinstellung0,001 bis 1,000 veränderbar (Einstellung bei Auslieferung im Werk)
Betriebstemperatur und Luftfeuchtigkeit0 bis 55 °C, 35–85 % relative Luftfeuchtigkeit (keine Kondensation)
LeistungDC 24 V ± 5 %
FunktionOptischer Digitalausgang (JIS F05) Stromausgang 4 bis 20 A (Lastwiderstand 100 Ω, nicht isoliert)
Abmessungen55×44×96mm Strom- und Stromversorgungskabel angeschlossen (Standardlänge 2m)
Gewicht≤300 g

*Bedingung: Betriebstemperatur 24 bis 29 °C (einschließlich Anbautemperatur), Luftfeuchtigkeit 55 ± 20 %, Emissionsgradkorrektureinstellung 1.000.

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