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각종 프로세스의 라인 압력 제어에 최적
압력 제어 설정 신호의 입력에 의해 라인 압력의 원격 조정이 가능
고성능 압력 센서와 Piezo Valve를 내장
UItra Clean 대응의 프로세스 라인에 최적
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