HF-SP-CU

2-channel High Precision HF Concentration Monitor HF-SP-CU

2-채널 고정밀 HF 농도 모니터

HF-SP-CU는 고정밀 및 고성능 HF 농도 모니터로 +/- 2.0ppm (최고 정밀도), 고속 샘플링 & 출력, 2채널 센서, 센서 내 압력 보정 기능으로 미세 공정 관리가 가능합니다. 반도체 미세 공정 제어에 적합합니다.

Segment: Semiconductor
Manufacturing Company: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.
  • High precision : +/- 2.0 ppm (highest accuracy)
  • High speed sampling & output
  • 2-channel sensors achieves the measurement of both the supply tank and chamber
  • Intra-sensor pressure correction function
Size: 1.56 MB
Brochures-Analyzers for Wet Process

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