VG-200S

Capacitance Manometer

절대 압력 측정은 반도체, FPD, HDD, PV 및 코팅을 포함한 다양한 산업 분야의 대부분의 진공 공정에서 매우 중요합니다. 커패시턴스 압력계는 다이어프램 양쪽에 압력 차이를 가할 때 발생하는 다이어프램의 변형으로부터 총 압력을 측정합니다. 다른 방식에 비해 정전용량식 압력계의 강점은 다음과 같습니다. 

•더 높은 정밀도

•압력 출력에서 가스 의존성 감소

•부식성 가스에 대한 상대적으로 높은 내성

Segment: Semiconductor
Manufacturing Company: HORIBA STEC, Co., Ltd.

Selection of countries and territories where this product is available:
Korea (South)
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  • 컴팩트한 셀프 히팅 디자인
  • 정확한 측정을 위한 독창적인 신호 처리 방식
  • SUS316L 다이어프램
  • 온도 제어식(55, 100°C) 또는 비가열식 중에서 선택 가능
  • ONE PUSH ReZero
  • 전력 사항 +/-15VDC or 24VDC
  • CE & RoHS compliant
ModelVG-211SVG-221S
F.S. measurement range133.32 Pa (A)1.3332kPa (A), 13.332kPa (A), 133.32kPa (A)133.32Pa (A)1.3332kPa (A), 13.332kPa (A), 133.32kPa (A)
Sensor temperature *1Amb. (25°C)55℃ / 100°C
Accuracy *20.5% R.S.0.25% R.S.0.5% R.S.0.25% R.S.
Resolution0.03% F.S.0.01% F.S.0.03% F.S.0.01% F.S.
Zero temperature coefficient0.01% F.S./°C0.005% F.S./°C0.005% F.S. /°C0.0025% F.S. /°C
Span temperature coefficient0.05% R.S./°C0.03% R.S./°C0.03% R.S. /°C0.02% R.S. /°C
Response time< 60msec
Operating temperatue *310-50°C
Wetted materialsSUS316L
Pressurization limit300kPA (A)350kPa (A)300kPa (A)350kPa (A)
Output signal0-10VDC Load resistance: 10kΩ or more
I/O connectorD-Sub 15pin
Power supply voltage+15VDC±5%、0.1A max. -15VDC±5%、0.1A max+15VDC±5%, 0.6Amax. -15VDC±5%, 0.6Amax.
24VDC±5%, 2.4W max.24VDC±5%, 22W max.
warm-up time15 minutes60 minutes (55°C temp. control type)
120 minutes (100°C temp. control type)
Open collector outputRated voltage: 30V Rated current: 50mA
Re-Zero input *4Now-voltage contact input Contact open voltage: 13V Maximum contact current: 1.3mA
Standard fitting *5KF16, 1/2 inch VCR Female, ICF34, 1/4 inch VCR Female

*1 The sensor temperatureis indicated on the nameplate. Please specify the sensor temperature when ordering.
*2 Linearity, hysteresis, and repeatability are included. (at the ambient temperature of 25°C)
*3 Under the specified environmental conditions, when there are heat sources around the product or when some products are placed in close formation, the ambient temperature may exceed the specified ambient temperature.
*4 The adjustable range of the zero point is ± 5%.
*5 Please specify the fitting when ordering.

 

Sterilization Process in Food and Beverage Manufacturing
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Vacuum Monitoring in Dryer Equipment for Freeze Dry in Pharmaceuticals and Medicine Manufacturing
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