質量流量控制器和模組

質量流量控制器根據以電訊號發送的設定流量自動控制氣體的流量，而不受使用條件或氣體壓力變化的影響。流量大致可分為兩種：體積流量和質量流量。體積流量測量受環境溫度和壓力的影響。為了看到真實的流量，壓力和溫度條件需要是壓力條件，提供更準確和穩定的流量測量和控制。當需要精確控制流量或建立自動化生產線時，我們的質量流量控制器作為不可或缺的設備廣泛應用於各領域。

結構及工作原理

這些質量流量控制器具有流量測量部分，其中包括感測器、旁通管、流量控制閥和特殊電路。 氣體從入口接頭流入，並被分流，流過流量感測器和旁路。感測器測量氣體的質量流量，流量控制閥修改流量，使得測量的流量與從外部流量設定訊號接收的流量之間的差值為0（零）。 該裝置具有迴路，因此即使存在二次壓力變化或環境溫度變化可能影響引入氣體的供應壓力，流量也會立即修正，從而確保穩定的流量控制。

工作原理

1. 從入口進入的氣體首先分裂流過感測器或通過旁路。

2. 在感測器內部，質量流量偵測並轉換為溫度的成比例變化 經由電路轉換為電訊號。

3. 此訊號經過放大和校正電路，並以 0 至 5V 之間的線性電壓輸出。同時，也送至比較控制電路。

4. 比較控制電路將流量設定訊號與來自感測器的實際流量設定訊號進行比較，並將差值訊號傳送至閥門驅動電路。

5. 流量控制閥移動器適當地使所需流量設定點和流量輸出訊號之間的差異接近零。換句話說，該裝置控制流量，使其始終處於設定的流量。

數位質量流量控制器如上圖所示。 這些質量流量控制器具有流量測量部分，其中包括感測器、旁通管、流量控制閥和特殊電路。 CPU 是電路的一部分，這使得它具有多功能且高效。 該裝置具有迴路，因此即使存在二次壓力變化或環境溫度變化可能影響引入氣體的供應壓力，流量也會立即修正，從而確保穩定的流量控制。

冷卻測量方法

LF-F/LV-F系列液體精細質量流量控制器中的流量感知器由與毛細管接觸的電子冷卻元件以及多個溫度檢測元件組成。當液體流動時，感測器會偵測與流量相對應的溫升（⊗T），並將其顯示為流量。與加熱方法不同，這種冷卻方法可以測量低沸點液體的流量。它還可以防止由於二次放電（蒸發）的影響而產生的干擾問題，並實現精確的流量測量。

結構/工作原理

LV-F系列質量流量控制器與LF-F系列質量流量計類似，但也有壓電閥和內部比較控制電路。比較流量設定訊號和流量輸出訊號，並自動控制閥門孔徑，使兩個訊號匹配。由於它們使用回授控制系統，因此不會因外部因素而導致流量變化，因此可以進行穩定、精確的控制。使用既穩定又不產生熱量的壓電閥作為控制閥，使這些裝置非常適合低沸點液體的流量控制。

噴射方式

以下列表涵蓋了蒸發液體源並將其供應到處理室所涉及的主要步驟。

1.測量液源流量，透過閥門回饋控制液量。

2.液體瞬間完全汽化。

3.氣體被釋放而沒有被允許冷凝回其液體形式。 使用噴射方法的汽化系統依序執行上面列出的步驟 1、2 和 3。

VC系列裝置使用質量流量計測量液體來源的液體流量，不使用載氣。 MI/MV 系列裝置使用質量流量計進行測量，並配備質量流量控制器，可將載氣引入裝置中以蒸發液體源。

氣液混合法

這是 MI/MV 系列中使用的汽化方法。由於進樣器內噴嘴前端的載氣壓力較高，因此可以有效加熱。液體源和加熱的載氣在噴嘴前面的氣/液混合區域混合在一起，當它們通過噴嘴時壓力降低，使混合物蒸發。汽化效率高於傳統汽化方法。當採用這種方法時，可以產生較大的流量，並且可以降低產生溫度。