GDOES

Glow Discharge Optical Emission Spectrometry (GDOES)

Gepulste HF-GDOES-Instrumentierung

GDOES ist eine Analysetechnik, die eine ultraschnelle Element-Tiefenprofilanalyse von Schichtmaterialien ermöglicht und gleichzeitig die quantitative Messung aller Elemente und der Schichtdicke mit nanometergenauer Tiefenauflösung erlaubt. Die gepulsten HF-GDOES-Geräte von HORIBA mit Differenzialinterferometrie-Profilierung (DiP) sind die idealen Werkzeuge zur Charakterisierung von Materialien und zur Prozessentwicklung.

Die innovative gepulste HF-Quelle ermöglicht die Profilierung aller Arten von Feststoffproben mit optimaler Leistung, vom ersten Nanometer bis über 150 μm. Polymere Materialien lassen sich leicht mit patentiertem Ultra Fast Sputtering (UFS) sputtern. Darüber hinaus kann diese Quelle auch zur Vorbereitung von Probenoberflächen für die Rasterelektronenmikroskopie (SEM) verwendet werden.

Alle Elemente können gemessen werden, darunter Wasserstoff, Deuterium, Lithium, Kohlenstoff, Stickstoff, Sauerstoff und mehr.

Das patentierte Differentialinterferometrie-Profiling (DiP) ermöglicht eine direkte Messung der Tiefe als Funktion der Zeit mit nanometrischer Präzision, die gleichzeitig mit der GD-Analyse durchgeführt wird.

Die patentierten High Dynamic Range Detectors (HDD), die in allen HORIBA GD-Instrumenten verwendet werden, ermöglichen eine Echtzeit-Optimierung der Empfindlichkeit, die Analyse von Elementen auf Spurniveaus in einer Schicht und ebenso wichtig in einer zweiten Schicht, ohne Kompromisse oder Anpassungen.

GD-Profiler 2™

Die GD-Profiler 2™ bietet eine schnelle, gleichzeitige Analyse aller interessanten Elemente, einschließlich der Gase Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff und Chlor. Es ist ein ideales Werkzeug für die Charakterisierung von dünnen und dicken Schichten sowie für Prozessstudien.

Trainings



Unsere Ausbilder sind Experten für GDOES. Sie bieten Schulungen, Beratung und Anleitung, damit Sie Ihr HORIBA Instrument optimal nutzen können.
Sie werden Sicherheit und Erfahrung bei der Analyse Ihrer Proben gewinnen.

Technologie & Häufig gestellte Fragen

Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy (GDOES)

GDOES ist eine analytische Technik, die sowohl das Oberflächen-/Tiefenprofil als auch die Gesamtelementzusammensetzung fester Materialien und Schichten schnell und mit hoher Empfindlichkeit gegenüber allen Elementen liefert. Lesen Sie mehr über diese Technik und ihr breites Anwendungsspektrum.

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Optisches Emissionsspektrometer mit gepulster HF-Glimmentladung

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