Analyse von dünnen und dicken Schichten mit gepulsten Radio Frequenz Glimmentladungsspektrometer (RF GDOES)

Die GD-PROFILER sind simultan messende Glimmentladungsspektrometer mit Hochfrequenzanregung zur Analyse fester Proben. Mit diesen Spektrometern können schnell und direkt simultane und quantitative Elementbestimmungen durchgeführt werden und zwar sowohl Bulkanalysen als auch Tiefenprofile.

Aufgrund der neuartigen Hochfrequenzanregung können die GD-PROFILER  sowohl elektrisch leitende als auch nichtleitende Proben analysieren. Dabei können alle Elemente des Periodensystems außer den Edelgasen gemessen werden, also auch die leichten Elemente H, C, N, O, Cl und sogar Deuterium.

Das System zur Tiefenprofilanalyse (Oberflächen- und Schichtanalyse) ermöglicht die schichtweise Analyse der Probe mit einem Tiefenauflösungsvermögen im Nanometer Bereich bis zu einer Tiefe von etwa 200 Mikrometern.

Das Hauptanwendungsgebiet der Geräte ist die schnelle, direkte und simultane Analyse industrieller Halb- oder Fertigerzeugnisse wie Stahl, Gusseisen und Buntmetalllegierungen sowie die Überwachung von Oberflächentechnologien wie Carbonitrierung, PVD- oder CVD-Beschichtung. Aufgrund der Fähigkeit zur Analyse von Nichtleitern werden aber auch zunehmend neue Anwendungsgebiete erschlossen, so beispielsweise im Korrosionsschutz (Lacke, Haftvermittler, Plastikbeschichtungen, kataphoretische und Eloxal-Schichten, Emaillen) sowie Keramiken und Gläser. Eine wichtige Anwen-dung ist die Kontrolle von Abscheide- und Ätzprozessen bei der Wafer-Fertigung.

Gepulste RF GDOES ist eine ideale Technik für Untersuchungen von der Oberfläche bis zu mehr als 150 µm bei einer Tiefenauflösung mit bis zu 1 nm.

Tiefenprofil einzelner Elemente einer Solarzelle
Tiefenprofil einzelner Elemente einer Solarzelle