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Erfahren Sie mehr über spektroskopische Ellipsometrie, indem Sie sich Schulungsvideos ansehen und einige der Anwendungen in unserer Sammlung von Webinaren entdecken.
Die spektroskopische Ellipsometrie ist eine oberflächensensitive, zerstörungsfreie und nicht-invasive optische Technik, die häufig zur Charakterisierung dünner Schichten und Oberflächen eingesetzt wird. Sie basiert auf der Änderung des Polarisationszustands von Licht, das schräg von einer dünnen Schichtprobe reflektiert wird. Je nach Materialart können spektroskopische Ellipsometer Schichtdicken von wenigen Ångström bis zu mehreren zehn Mikrometern messen. Sie eignet sich auch hervorragend zur Messung von Mehrschichtsystemen.
Die spektroskopische Ellipsometrie ermöglicht die Charakterisierung einer Reihe von Dünnschichteigenschaften, wie z. B. Schichtdicke, optische Eigenschaften (n, k), optische Bandlücke, Grenzflächen- und Rauheitsdicke, Filmzusammensetzung, Gleichmäßigkeit in Tiefe und Fläche und vieles mehr.
Für spektroskopische Ellipsometrie geeignete Materialien gehören Halbleiter, Dielektrika, Polymere, organische Stoffe und Metalle. Ellipsometrie kann auch zur Untersuchung von Feststoff-Flüssig- oder Flüssigkeit-Fluss-Grenzflächen verwendet werden.
HORIBA spektroskopische Ellipsometer verwenden innovative Technologien, um Hochfrequenz-Polarisationsmodulationsmessungen ohne mechanische Bewegung durchzuführen, was im Vergleich zu herkömmlichen Ellipsometern einen schnelleren, größeren Bereich und eine höhere Charakterisierungsgenauigkeit ermöglicht.
Zur Charakterisierung moderner optischer Beschichtungen sind mehr als Dickenmessungen erforderlich.
Entdecken Sie, wie HORIBA UVISEL Plus fortschrittliche optische Modellierung und automatisiertes Wafer-Mapping kombiniert, um optische Eigenschaften, Filmqualität und räumliche Gleichmäßigkeit in einem einzigen Arbeitsablauf aufzudecken.
Wie lässt sich die Leistungsfähigkeit optischer Beschichtungen über die gemessenen Bedingungen hinaus vorhersagen?
Entdecken Sie, wie HORIBA UVISEL Plus spektroskopische Ellipsometrie mit mehreren Winkeln und fortschrittliche optische Modellierung kombiniert, um Spiegelbeschichtungen präzise zu charakterisieren und ihr optisches Verhalten bei nicht gemessenen Einfallswinkeln vorherzusagen.
Ellipsometrie ist eine bekannte, aber manchmal nicht gut verstandene Charakterisierungstechnik für Dünnfilme. Basierend auf Lichtpolarisation und indirekter Bestimmung von Parametern ermöglicht Ellipsometrie die Gewinnung von Dünnschichtdicke und optischen Parametern, Rauheit, Porosität oder sogar Kompositionsinformationen über einfache Schichten und komplexe Stacks. Sehr nützlich in den Bereichen Halbleiter, PV, optische Beschichtungen und jede Anwendung mit Dünnschichten, erreicht Ellipsometrie seit einigen Jahren eine instrumentelle Reife, die es ermöglicht, die Nutzung für nicht-fachkundige Nutzer zugänglich zu machen. Kommen Sie und entdecken Sie (wieder) die Grundlagen dieser leistungsstarken Technik für Ihre Materialcharakterisierungsbedürfnisse!
Sieh es dir jetzt an.Mit einem Wirkungsgrad von ca. 20 % gelten hybride Perowskit-Solarzellen als vielversprechende Kandidaten für die Photovoltaik der nächsten Generation. Dank des breiten HORIBA Portfolios können verschiedene Techniken eingesetzt werden, um detaillierte Einblicke in die optoelektronischen Eigenschaften und Mechanismen dieser Materialklasse zu gewinnen. In dieser Anwendungsbeschreibung untersuchten wir die Eigenschaften von CH₃NH₃PbI₃-Dünnschichten, die auf einem spinbeschichteten PEDOT:PSS-Substrat abgeschieden wurden, mittels spektroskopischer Ellipsometrie, Steady-State- und zeitaufgelöster Fluoreszenz sowie Glimmentladungs-Emissionsspektroskopie. Der Einfluss der Luftexposition wurde ebenfalls untersucht.
Mehr lesenEntdecken Sie das Webinar von Dr. Arnaud Etcheberry (ILV, Versailles, Frankreich)
Sehen Sie sich das Webinar an
Spektroskopischer Ellipsometer von FUV bis NIR: 190 bis 2100 nm
Spektroskopischer Ellipsometer zur einfachen Messung von Dünnschichten
Leistungsstarker und kosteneffektiver spektroskopischer Ellipsometer
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